目录:苏州爱拓利电子设备有限公司>>流量计>>气体质量流量控制器>> MFC330高精度气体流量控制器厂家
| 产地类别 | 国产 | 产品种类 | 质量式 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 1-5千 | 介质分类 | 气体 |
| 应用领域 | 环保,化工,生物产业,电子/电池,制药/生物制药 |
高精度气体流量控制器厂家MFC330 系列气体质量流量计/控制器，其结构包含毛细管柱式流量传感器、旁路分流系统、高精度比例阀和控制系统。
被测气体进入后，先通过传感器和旁路分流系统。由传感器实时测量气体流量、高精度比例阀动态响应快速调节气体流量至设定值。测量与调节流量的闭环结构，即使环境温度变化或进出口气压波动， 依然能够保持稳定的流量控制。
主要参数
介质要求 洁净干燥气体
气体种类 98+气体可选
量程 0-2，10，20，50，100，300，500 sccm
0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm
测量范围 0.5%F.S.（1:200）
控制范围 1%-100% FS.（1:100）
准确度 ±1% F.S.
重复精度 ±0.2%F.S.
线性度 ±0.2%F.S.
控制响应时间 <3 秒
预热时间 5 min（T95），30 分钟最佳
阀门 常闭式
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