該款石英真空等離子清洗機(jī)具備的石英腔體設(shè)計(jì)，具有優(yōu)良的密封性能，有效防止氣體泄漏，提升設(shè)備安全性。其13.56 MHz射頻等離子發(fā)生器能夠產(chǎn)生高密度的等離子體，這種高密度等離子體可以深入產(chǎn)品表面的微小結(jié)構(gòu)，從而確保出眾的清洗和處理效果。此外，這種高效的等離子體處理還有助于提升小型產(chǎn)品在實(shí)驗(yàn)測(cè)試中的表現(xiàn)，滿足科研和工業(yè)領(lǐng)域?qū)Ω呔群透呒兌缺砻嫣幚淼膰?yán)苛要求。

本機(jī)不僅在性能上表現(xiàn)*，還在成本控制上具有明顯優(yōu)勢(shì)。它允許用戶在合適的預(yù)算內(nèi)完成高質(zhì)量的表面處理任務(wù)，實(shí)現(xiàn)成本效益的增長(zhǎng)。配備的可視化觸摸屏使操作更為直觀，過程參數(shù)的實(shí)時(shí)監(jiān)控功能讓用戶可以即時(shí)調(diào)整和優(yōu)化操作設(shè)置，確保處理效果始終符合預(yù)期。

此外，該設(shè)備支持多種工藝氣體，包括氬氣、氧氣、氫氣、氦氣和各種氟化氣體，適應(yīng)不同的處理需求和工藝條件。高精度的氣體流量監(jiān)測(cè)系統(tǒng)配合雙路工藝氣體配置（氬氣和氧氣），實(shí)現(xiàn)了雙路氣流的精確控制，用戶可以根據(jù)需要調(diào)整氣體比例，以達(dá)到良好的處理效果。這種靈活的工藝氣體使用方式，配合精準(zhǔn)的流量控制，進(jìn)一步提高了設(shè)備的適用性和處理品質(zhì)，是科研和工業(yè)領(lǐng)域理想的表面處理解決方案。

①可視化觸摸屏，過程參數(shù)實(shí)時(shí)監(jiān)控。

②支持各種工藝氣體，包括氬氣，氧，氫，氦和氟化氣體。

③高精度氣體流量監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，兩路工藝氣體配置 ( 氬氣、氧氣），雙路氣流控制，比例可調(diào)