艾博纳高低温探针台是一款专为高精度电子测量设计的优良测试设备，广泛应用于科研和工业领域，旨在提供超凡的测试性能与可靠性。其精心设计能够满足严苛的测试需求，尤其适用于高低温环境下的精准测量。

产品型号：ABN-VPS-001

该设备的真空腔体采用外腔与屏蔽腔双腔体结构，确保样品在测试过程中处于极限真空状态，最大真空度可达到10^-4 Pa。这样的设计有效防止了低温条件下水汽凝结的现象，并在高温测试时防止样品氧化，显著提升了测试的稳定性和可靠性，同时优化了制冷效率，为用户提供更为精准的测试环境。

显微镜部分，艾博纳高低温探针台搭载了高性能体式金相显微镜，能够在绝大多数环境下提供高稳定性的显微观察，确保在各种条件下都能得到清晰、精确的视图。此外，艾博纳高低温真空探针台还配备了优良的1270万像素尼康CCD相机，能够捕捉细节丰富、色彩真实的图像，帮助用户准确分析样品的微观结构。

无论是在科研实验中对材料的精密分析，还是在工业生产中对高精度元件的质量检测，这款探针台都能够提供可靠的支持，成为您理想的测试伴侣。

工作原理

温度控制系统

制冷方式：

热电制冷（TEC）：通过帕尔贴效应实现快速降温（-60°C至+150°C），适合小范围温度调节。

液氮制冷（LN?）：利用液氮蒸发吸热实现超低温（-196°C至室温），适用于极低温测试。

加热方式：电阻丝或薄膜加热器，用于升温（最高可达+300°C以上）。

温度均匀性：通过导热介质（如氮气循环或真空环境）确保样品台温度分布均匀。

探针定位系统

精密机械结构：XYZ三轴微米级移动平台，搭配显微镜或CCD相机辅助探针与样品的精确对准。

真空吸附：通过真空吸盘固定样品，避免位移。

信号测试系统

探针类型：直流探针、高频探针、同轴探针等，连接至源表（SMU）、网络分析仪等测试设备。

屏蔽设计：电磁屏蔽箱减少外界干扰，提升测试精度。

操作流程

准备工作

样品安装：清洁样品台，使用真空吸附或机械夹具固定样品。

探针安装：选择合适探针（材质、间距），安装到探针臂并调整高度。

温度设置：根据测试需求设定目标温度（如-50°C、25°C、150°C）。

温度控制启动

液氮模式：连接液氮罐，开启制冷系统，监控温度曲线直至稳定。

TEC模式：设置温度梯度，避免温度骤变导致样品或探针损伤。

探针定位与测试

显微镜对准：通过显微镜观察，调整探针与样品的Pad接触，确保接触电阻最小。

电学测试：连接测试仪器（如Keysight B1500A），执行IV曲线、阻抗、射频特性等测试。

结束操作

升温回常温：避免直接关闭制冷导致结霜。

关闭系统：依次关闭测试设备、温度控制器、真空泵等。

维护要点

日常维护

清洁：使用无尘布和异丙醇清洁样品台、探针，防止氧化或污染。

探针保养：定期检查探针磨损，必要时更换或重新打磨。

气路检查：液氮管路需定期检查密封性，避免泄漏或堵塞。

温度系统维护

液氮系统：排空残留液氮，防止管路腐蚀；检查杜瓦罐压力阀。

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机械系统维护

移动平台润滑：定期涂抹专用润滑脂，保持XYZ轴移动顺畅。

真空泵维护：更换真空泵油，检查吸附力是否达标。

电气安全

接地检查：确保设备接地良好，防止静电损伤样品。

屏蔽箱维护：检查屏蔽效能，防止电磁干扰。

定期校准

温度校准：使用标准温度传感器（如PT100）校验样品台实际温度。

探针定位校准：通过标准刻度片校正显微镜和移动平台精度。