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日本进口Anelva电容表真空表高精度测量压力 M-342DG 特点介绍
电容式压力计“M-342DG"在压力传感器部分采用了小型硅MEMS芯片，最大限度地减少了温度、振动和大气压力波动等外部环境的影响，并实现了高精度和稳定的隔膜真空压力测量。
达到调零最小频率的仪表。
高精度、稳定的压力测量
?出色的零点稳定性
?温度依赖性低，无需温度调节机构即可实现出色的稳定性
?出色的抗振性和噪音性
紧凑、低功耗
、重量 200 g、尺寸 W46 mm x H49 mm x L106 mm、轻量且紧凑 (*1)
、功耗 0.5 W
日本进口Anelva电容表真空表高精度测量压力 M-342DG 规格参数
广泛兼容真空压力的高精度、长期稳定测量
半导体、显示器、太阳能电池等各种真空设备、
溅射、PECVD等真空成膜工艺压力控制、监视
/负载锁定室、晶圆冷却等气体导入工艺、系统压力管理。
用于医疗、生物、食品等行业的各种涂层、等离子体处理、真空密封、真空炉、分析设备、灭菌、真空泵评估、分子蒸馏等，以及各种研发应用。
型号名称M-342DG
-1D-1N-11-12-13
满量程压力 (Pa)13.33 133.3 1.333k 13.33k 133.3k
测量精度（读数的%）0.20(23℃时)
零点温度系数（% of FS/℃）0.01 0.005 0.002
量程温度系数（%读数/℃）0.01 0.005
分辨率（满量程的%）0.01 0.005
测量下限压力（满量程的%）0.01
实际测量下限压力（满量程的%）0.05
实际控制下限压力（满量程的%）0.5
响应速度（毫秒）100 30
压力上限200 kPa（但是，对于NW16和NW25，内部压力不得为正）
*13.33 Pa规格为130 kPa
电源电压（VDC）+13.5～26.4
功耗（瓦）0.5
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