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日本Anelva宽量程电离真空计高精度真空测量 M-833HG 特点介绍
M-833HG 是微型 BA 仪表专用的控制单元。作为选件，还提供支持各种仪表、数据输出等的扩展板。
通过组合微型 BA 真空计和 TC 真空计（可?。┎沧白远谢徽婵占频淖远扑浚梢允迪执哟笃沟匠哒婵盏母呔日婵詹饬?。非常适合安装高真空至超高真空设备。
自动化真空设备的压力测量
溅射等工艺压力的测量和控制
多室系统中的压力测量
通用真空设备压力测量
日本Anelva宽量程电离真空计高精度真空测量 M-833HG 规格参数
型号名称M-833HG
测量球微型量规MG-2系列
压力显示范围0.1×10 -7 ～ 1.32×10 1 Pa *1
压力显示自动测量量程切换
设定点2点标准装备（集电极开路）
数模输出0 至 10 V：尾数输出、指数输出
0 至 11 V：复合输出或对数输出
模拟输出
（静电计输出）设置 APC 模式时（0.1 至 2.5 V）
设置正常模式时（0.1 至 1.6 V）
外部控制功能
（远程操作）输入 灯丝ON/OFF、
脱气ON/OFF等
6种外部控制功能
输出 6种状态信号输出
特殊功能APC兼容：量程保持功能
静电计输出功能
外形尺寸(mm)/质量H99×W209×D330，1.9 kg（未安装选件板）
所需电源100 至 240 VAC *2
100 VA 或更少，50/60 Hz
发射电流10μA、100μA、1mA自动切换设定或固定设定
排气栅极电流加热方式
灯丝开关按键和远程 I/O 操作
灯丝?；こ段瓒ǖ慊蚍⑸涞缌?±50% 变化
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