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日本mitaka非接触三维测量装置高精度耐磨损 NH系列 特点介绍
NH系列实现了高精度和易用性,
解决了过去的测量问题。
?可在不损坏测量对象的情况下进行测量
?擅长测量陡峭的斜坡和大的凹凸不平
?直接测量镜面和透镜等透明物体
非接触式测量可防止探头磨损
由于不存在非接触式探头磨损等连续变化,因此
日常维护也更加容易。
始终可以观察到测量点和工件表面的激光光斑。图像处理可实现边缘检测和圆测量。
高精度、高刚性XY平台
NH系列的XY平台基于“高精度识别=坚固机构"的理念,经过精心加工和一一检验,实现高精度运行并行度。
日本mitaka非接触三维测量装置高精度耐磨损 NH系列 规格参数
出色的角度跟踪
高灵敏度自动对焦传感器可捕获表面的轻微反射光。能够直接精确测量陡坡和台阶。
与表面颜色和反射率无关
可以直接测量从表面反射率约为 0.5% 的镀膜玻璃到反射率超过 90% 的镜面。
NH 系列由用于高度测量的激光自动对焦 (AF) 显微镜和高精度 XYZ 平台组成。图中,送入显微镜镜筒的激光束穿过物镜,向光轴中心焦平面行进,在工件表面反射,再次穿过物镜,在工件表面形成图像。自动对焦传感器。散焦时,激光光斑在传感器上的位置会发生变化,因此传感器会捕获此位置变化,并使用 AF 驱动机构将物镜定位到焦点。自动XY平台扫描工件并捕获每个聚焦点的XYZ值以测量形状。这种方法可以在大范围内进行高精度测量,而不受工件表面颜色或反射率的影响。此外,除了传统的指数测量模式外,它还配备了扫描自动对焦模式,可实现粗糙度测量等高速测量。
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