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日本NCC落尘计数器10μm以上粗颗粒测量装置 DTSP10-03 特点介绍
一种特殊的测量装置，可以测量落尘而不是浮尘。对
10μm以上的粗颗粒进行分类和计数。
即使在无尘室中工作，异物的量也没有减少。
虽然它是使用粒子计数器进行管理的，但不可能将其与缺陷关联起来。
我想创造一个干净的环境，但不知道如何管理。
我们很难处理从衣服等引入的异物。
日本NCC落尘计数器10μm以上粗颗粒测量装置 DTSP10-03 规格参数
如果您想减少产品上附着的异物量，则应使用落尘计数器而不是颗粒计数器进行测量。
原因是
① 导致附着异物的粗颗粒较大，范围为 10 μm 至 100 μm，无法用颗粒计数器测量。
② 大颗粒不会漂浮在空气中，而是沉降并成为落尘。
上面提到了两个。
此外，ISO14644-17自2021年2月起颁布，可以直接使用引起缺陷的粗颗粒作为管理指标。
因此，通过测量落下的灰尘而不是空气中微小的漂浮灰尘，可以管理附着的异物。
这是一种特殊的测量装置，可以测量掉落的粗颗粒而不是漂浮的灰尘。
利用样品收集板（4英寸硅片），利用粗颗粒的沉降特性，对下落的10μm以上的粗颗粒进行分级计数。
它可以在任何可以放置硅晶圆的地方进行评估。
*硅晶片：圆盘状样品板，是表面平整度和耐热性优异的半导体基板。
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