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| 应用领域 | 环保,能源,电子/电池,电气,综合 |
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美国Entegris液体流量控制器耐腐蚀高精度 Entegris 6500/6550型 特点介绍
6500型
适用于高纯度应用的 PTFE 润湿表面
耐腐蚀非金属零件
内置压力传感器提供额外的过程信息
精确至满量程的 1%，非常适合分配关键化学品
紧凑的设计可以在有限的空间内轻松安装
高精度分配流量和快速响应
6550型
采用经过验证的可靠差压流量测量技术和先进的闭环过程控制技术
使用视觉指示器诊断预防性维护、故障排除和警报状况
集成压力传感器提供详细的压力信息
使用气泡生成介质实现的测量和控制
稳健的设计确保稳定性和长期可靠性
设计用于 60、90 或 120 L/min 流量
美国Entegris液体流量控制器耐腐蚀高精度 Entegris 6500/6550 规格参数
过程温度 10-65℃
电源 24 伏直流 (± 10%) @ 1 安
电力输出 两个电气隔离输出（4 至 20 mA），用于流量测量和压力测量
流量测量 20 至 100% 流量范围内为满量程的 ± 1%
流量范围为 10 至 20% 时为满量程 ± 2.5%
（使用 23 °C 纯水校准）
重复性 20 至 100% 流量范围时，满量程的 ± 0.5%
对于 10 至 20% 流量范围，满量程的 ± 1%
压力测量范围 0至414kPa
最小工作压力（入口） 69kPa
最大工作压力 414千帕
超压极限 690千帕
压力测量精度 满量程的 ± 1%（包括线性度、迟滞性和重复性的综合影响）
电气设备外壳标准 IP54
可靠性 接液部件，超过300万次
响应时间 3 秒内从 10% 升至 95% 全量程
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