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當前位置：深圳秋山工業(yè)設備有限公司>>過程控制儀器>>壓力控制器>> L20SS/L20SH/L20SS-CO日本YUTAKA半導體用壓力控制設備L20系列
| 產地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 3千-6千 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 環(huán)保,能源,電子/電池,電氣,綜合 |
日本YUTAKA半導體用壓力控制設備L20系列 L20SS/L20SH/L20SS-CO 特點介紹
L20系列是專為高壓半導體工藝制造氣體而設計的產品?；窘Y構是外部金屬密封和焊接接頭，使其成為具有優(yōu)異的外部泄漏和顆粒性能的產品。
此外，我們還提供多種選擇來容納各種高純度氣體，使其成為氣瓶柜的理想選擇。
日本YUTAKA半導體用壓力控制設備L20系列 L20SS/L20SH/L20SS-CO 規(guī)格參數(shù)
入口壓力 14.8MPa以下（最大19.6MPa）
調節(jié)壓力 Max.0.99MPa
（范圍規(guī)格：0-0.2MPa、0-0.4MPa、0-0.6MPa、0-0.99MPa）
氣源壓力波動 入口壓力：每0.1MPa，調節(jié)壓力變化量0.00021MPa
承受壓力 22.2MPa（進口側）
CV值 0.09
工作溫度 -10~+40℃
外漏 1×10-11Pa·m3/s·He（真空法）
內部容積 4.67cm（不含3個壓力表及接頭）
大量的 約1.29公斤
主體SUS316L
調節(jié)閥桿/閥座SUS316L 哈氏合金®C-22 SUS316L
隔膜哈氏合金®C-22 SUS316L
閥座PCTFE（Daiflon®）
緩沖彈簧不銹鋼316 哈氏合金® 不銹鋼316
壓力表連接密封墊片你 不銹鋼316
非氣體接觸部分
閥蓋 (A)不銹鋼316
發(fā)動機罩 (B)黃銅（鍍鎳）
帽SUS304
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