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医疗卫生,化工,生物产业,电子/电池,制药/生物制药 |
杜邦陶氏DUPONT超纯水除硼树脂UP7530装抛光树脂玻璃钢混床柱螯合离子交换树脂半导体级,DuPont(杜邦)超纯水除硼树脂 UP7530 是一种高性能的螯合离子交换树脂,专为半导体行业等高纯度水需求的领域设计。它能够有效去除水中的硼等杂质,保障超纯水的质量。
DUPONT超纯水除硼树脂UP7530螯合离子交换树脂半导体级树脂
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一、杜邦陶氏DUPONT超纯水除硼树脂UP7530螯合离子交换树脂半导体级树脂型号 | 物理形态 | 树脂结构体 | 离子型态 | 含水量 | 操作温度 |
陶氏树脂 UP7530 抛光树脂超纯水制备树脂DOW离子交换树脂 | 琥珀色颗粒 | 苯乙烯/二乙烯苯交联共聚物 | H+型 | 45-51% | 低于60℃ |
OH-型 | 54-60% |
DuPont(杜邦)超纯水除硼树脂 UP7530 是一种高性能的螯合离子交换树脂 |
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DUPONT超纯水除硼树脂UP7530螯合离子交换树脂半导体级树脂简介:在半导体行业中的应用
芯片制造:在半导体芯片制造过程中,超纯水用于清洗硅片等关键步骤。硼杂质即使在微量水平也可能对芯片的性能产生严重影响,如改变半导体的电学性质。UP7530 树脂能够确保用于芯片清洗的超纯水硼含量极低,提高芯片的质量和性能。
光刻工艺:光刻是半导体制造中的重要工艺,超纯水的质量直接关系到光刻的精度和效果。使用 UP7530 除硼树脂处理后的超纯水可以避免硼杂质在光刻胶等材料上的沉积,从而保证光刻图案的准确性和清晰度。
二、杜邦陶氏DUPONT超纯水除硼树脂UP7530螯合离子交换树脂半导体级树脂特性:
外觀 | 琥珀色顆粒 |
樹脂結構體 | 苯乙烯/二乙烯苯共聚合體 |
包裝密度 | 約665~740克/公升 |
總交換容量 | 陽樹脂≧2.0eq/L 陰樹脂≧1.3eq/L |
出貨時之離子型態 | H型/OH型 |
陽樹脂組合比率 | 38~44% |
陰樹脂組合比率 | 56~62% |
操作條件 |
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操作度 | 不得超過60oC |
小床深 | 700mm |
採水流速(BV/Hr) | 20-40BV/Hr |
陽樹脂再生藥劑 | HCL 或 H2SO4 |
陰樹脂再生藥劑 | NaOH |
二、DUPONT超纯水除硼树脂UP7530螯合离子交换树脂半导体级树脂产品特点
高纯度:在半导体制造等对水质要求高的行业中,能够满足超纯水的质量标准。它可以将水中的硼含量降低到极低的水平,例如可以使硼的浓度降低到 ppt(万亿分之一)级别,确保生产过程不受硼杂质的干扰。
良好的化学稳定性:在各种化学环境下,如不同的 pH 值范围(通常在较宽的 pH 范围内有效工作)和化学试剂存在的情况下,能够保持其结构和性能的稳定。这使得它可以适应半导体制造过程中可能涉及的多种化学处理步骤。
高效的再生性能:树脂在吸附硼达到饱和后,可以通过合适的再生剂进行再生。再生过程相对简单且高效,能够使树脂恢复到接近初始的吸附能力,从而降低使用成本并延长树脂的使用寿命。

四、DUPONT超纯水除硼树脂UP7530螯合离子交换树脂半导体级树脂性 能:
操作交換容量
下列公式可決定每一公升樹脂可處理的大略體積
BV=500/TDS
BV(Bed Volume):可處理水體積,單位:公升(L)
TDS:處理水總溶解固體物含量,單位:毫當量/公升(meq/L)
五、DUPONT超纯水除硼树脂UP7530螯合离子交换树脂半导体级树脂再 生:
使用和维护注意事项
预处理:在使用树脂前,需要对进水进行适当的预处理。例如,去除水中的悬浮物、有机物等杂质,以免这些杂质堵塞树脂的孔隙或与树脂发生不良反应,影响其除硼效果。
操作条件:应严格按照产品说明书的要求控制水流速度、温度、pH 值等操作条件。合适的水流速度可以保证树脂与水充分接触,提高除硼效率;适宜的温度和 pH 值有助于维持树脂的性能稳定。
再生程序:正确执行再生程序是保证树脂长期有效使用的关键。再生剂的选择、浓度、再生时间和流速等参数都需要准确控制,以确保树脂能够充分再生而不受到损坏。