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北崎國(guó)際貿(mào)易（北京）有限公司
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寫(xiě)真化學(xué)自動(dòng)對(duì)位功能測(cè)厚儀
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更新時(shí)間：2024-11-02 15:32:59

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寫(xiě)真化學(xué)自動(dòng)對(duì)位功能測(cè)厚儀，能夠?qū)ψ畲?300 mm 的晶圓的整個(gè)表面進(jìn)行自動(dòng)涂層厚度映射測(cè)量

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映射涂層測(cè)厚儀能夠在最大 300 mm 的晶圓的所有表面上自動(dòng)映射膜厚測(cè)量。 自動(dòng)對(duì)位功能和使用具有高平整度的晶圓卡盤(pán)可實(shí)現(xiàn)可靠的薄膜厚度測(cè)量。 此外，它可以安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備的負(fù)載端口，以在保持清潔度的同時(shí)管理制造設(shè)備上的薄膜厚度。


  • 測(cè)量數(shù)據(jù)示例（2D 膜厚分布）層壓晶圓的硅
    厚度 （nm）

  • 測(cè)量數(shù)據(jù)示例（3D 薄膜厚度分布）層壓晶圓的硅厚度
    （nm）

  • 測(cè)量數(shù)據(jù)示例（薄膜厚度的頻率分布）層壓晶圓中的硅厚度

  • 測(cè)量數(shù)據(jù)示例（多個(gè)晶圓的膜厚分布箱線(xiàn)圖）5 個(gè)晶圓的膜厚分布趨勢(shì)


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