场发射扫描电子显微镜(FESEM)主要用于高分辨率的表面形貌观察和微区成分分析。它具有高分辨率，能够观察纳米尺度的样品表面形貌，并通过二次电子成像原理获得忠实原貌的立体感强的图像。
FESEM可以用于各种固态样品的表面形貌观察，包括生物样品如组织、细胞、微生物以及生物大分子等。此外，FESEM还配备高性能X射线能谱仪，能够进行样品表层的微区点线面元素的定性、半定量及定量分析，具有形貌和化学组分综合分析能力。
场发射扫描电子显微镜利用二次电子或背散射电子成像原理，对样品表面进行放大观察。其使用场发射电子枪作为电子源，通过强电场使金属的电子脱离束缚，形成高亮度、高相干性的电子束。电子束经过一系列的电磁透镜和光阑进行聚焦、偏转和整形，形成一个细小的探针。扫描线圈控制电子束在样品表面进行逐行扫描，与样品相互作用产生二次电子、背散射电子等信号。这些信号被探测器收集、放大并处理后，生成反映样品表面形貌、结构和成分信息的图像。
维护与保养
灯丝维护：灯丝是场发射扫描电子显微镜的关键部件之一，其使用寿命有限。正常使用情况下，灯丝使用时间约为10000~20000小时。在使用过程中，应注意观察灯丝的状态，及时更换老化的灯丝。灯丝更换需专业人士上门服务。
真空系统维护：真空系统的性能对场发射扫描电子显微镜的分辨率和稳定性有着重要影响。应定期检查真空泵、管道、真空阀门等部件的性能，确保其正常工作。同时，应定期测量真空值，确保系统真空度满足要求。
日常清洁与保养：定期对场发射扫描电子显微镜进行清洁和保养，包括清洁样品室、探测器、镜头等部件，以及检查电气连接和机械部件的紧固情况。
综上所述，场发射扫描电子显微镜是一种高分辨率的电子显微镜，具有广泛的应用领域和好的性能特点。在使用过程中，应注意满足其使用环境要求，并进行适当的维护与保养，以确保其正常工作并延长使用寿命。
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