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| 测量原理 | 见参数 | 产地类别 | 进口 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 5千-1万 | 量程 | 见参数mbar |
| 应用领域 | 化工,能源,建材/家具,电子/电池,综合 | 真空接口 | 见参数 |
| 序列号 | 176.0755.4908. |
新款ULVAC爱发科 标准皮拉尼真空计设备
新款ULVAC爱发科 标准皮拉尼真空计设备
使用 安装组件可无需支架直接搭载
标配热传感器
热传感器可以监测真空泵温度的异常上升，通知油量的减少和泵的异常。
内置油雾过滤器的大容量油箱
大容量油箱（油容量：23~30L）减少油的更换频率。 油箱内置方便更换的盒式滤芯。
被油雾过滤器回收的油会自动回到泵内。 油净化装置去除混入的杂质。
特点
安装方向自由
安装方向没有限制，扩展了设备设计的自由度。
搭载控制器
控制器安装在主体上，有效地减少了布线并减小了排气系统的尺寸。
高压缩比?高排气圧力
高压缩比和高背压操作使得辅助泵可以实现小型化。
三种法兰可供选择
VG、ICF、ISO-K三种类型的吸气口法兰可供选择。
清洁真空
在运行时以及泵停止时，碳氢化合物的回流很少。
用途
分析设备、研究开发设备、实验设备等的主排气系统
蒸发设备、溅射设备等著排气系统
H2、He等轻气体主排气系统
用于使低温泵运转。将压缩后的氦气送出冷冻机，冷却从冷冻机回来的高温氦气，使之循环
传感器规格：如果需要压力
·空白计划降低
·控制板空间节省
·配线简化
确定子更换眼睛
灯丝采用耐腐蚀材料铂
其中一个使用的测量组件（SP1：WP-01,02,03,16）稍后使用
可以输出2个设定点
SP1：压力为0至5 V输出（非输出）
电源电压：24 VDC输入
用于半导体?电子部件等各种制造设备的低真空领域的工艺控制
用于炉等各种工业设备的低真空领域的工艺控制
用于在线式?片叶式等工艺腔室多种的各种制造设备的低真空领域的工艺控制
| 类型 | 传感器单元 |
| 模型 | SP1 |
| 兼容传感器头 | WP-01、WP-02、WP-03、WP-16 |
准确性 | ±15 %（51帕～760帕） |
| ±30 %（10帕～1000帕） | |
| ±50 %（0.4帕～3000帕） | |
| 工作温度范围 | 10～40℃ |
| 测量值输出 | 非线性输出：0至5VDC（最大10V） |
| 设定点 1/2 压力设定调整监视器 | 非线性输出：0至5VDC（最大10V） |
| 控制输出信号 | 开路集电极输出，负逻辑 |
| 错误信号 | |
| 设定点 1/2 | |
| LED 显示屏 | 电源、错误、设定点 1、设定点 2 |
| 电源电压 | DC24V±2V, 90mA（最大） |
| 输入/输出连接器 | D-sub-15P（M2.6螺丝） |
| 重量 | 190g /0.41lb（不包括传感器头） |
标准配件 | 输入/输出连接器 1个 |
| 快速手册 1本 |
IO和模拟GND与电源GND不隔离。
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