產(chǎn)品名稱：Passat皮秒DPSS激光器Compiler HPRR

產(chǎn)品型號(hào)：Compiler HPRR

產(chǎn)品介紹

Compiler HPRR 是一款 14 kHz 皮秒激光器。這是 Compiler 系列激光器中先進(jìn)的版本。無光纖耦合。該型號(hào)可用于多種應(yīng)用，尤其是晶圓切割、微加工和納米加工、半導(dǎo)體劃線、遙感。

性能特點(diǎn)

l 脈沖寬度 10 皮秒，波長(zhǎng) 1064 nm

l 能量 >65 µJ /脈沖，波長(zhǎng) 1064 nm，能量 15 µJ /脈沖，波長(zhǎng) 355 nm，能量 10 µJ /脈沖，波長(zhǎng) 266 nm

l 脈沖重復(fù)率 14 kHz

l 光束質(zhì)量 TEM00 模式

l 水冷（可選風(fēng)冷）

l 外部觸發(fā)或計(jì)算機(jī)控制，包括突發(fā)模式

l 定制升級(jí)至 100 µJ，波長(zhǎng) 1064 nm，波長(zhǎng) 20 kHz

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地：加拿大

波長(zhǎng)：1064 nm 532 nm 355 nm（可選）266 nm（可選）

能量輸出（14 kHz 時(shí)）：>65 µJ 35 µJ 15 µJ 10 µJ

脈沖寬度（1064 nm 時(shí)）：8 ps 7 ps 6 ps 5 ps

重復(fù)率：14 kHz 工廠固定

Q 開關(guān)：被動(dòng)

光束質(zhì)量：衍射受限

光束輪廓：TEMoo 高斯

脈沖間標(biāo)準(zhǔn)偏差：3% @1064 nm 可選

輸出光束指向穩(wěn)定性（標(biāo)準(zhǔn)偏差，1 小時(shí)）：~0.5 衍射極限

外部控制：TTL 觸發(fā)輸入端口連接器（4 +/-1V，1 kΩ）

電功率：~ 100-240VAC，47-63 Hz，單相

功耗：<300 W

預(yù)熱時(shí)間：少于 5分鐘

工作溫度和濕度：18-25 ℃；10-85 %

產(chǎn)品尺寸

產(chǎn)品應(yīng)用

微加工（晶圓、太陽能電池板、玻璃和金屬加工，精度達(dá)到幾微米）

光掩模制作和修復(fù)

紫外和時(shí)間分辨光譜法、單光子和雙光子 LIF

遠(yuǎn)程和遙感

激光燒蝕、碎裂和破壞