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供貨周期	一個月	規(guī)格	可咨詢
貨號	EMS系列	應(yīng)用領(lǐng)域	化工,電子/電池,汽車及零部件,電氣,綜合
主要用途	半導(dǎo)體行業(yè)用于晶圓加壓、CMP設(shè)備、供應(yīng)純水和化學(xué)溶液

RIX晶圓真空夾緊用旋轉(zhuǎn)接頭半導(dǎo)體專用 EMS系列

規(guī)格：

適用流體：純水、空氣、真空
最大壓力：-0.095～0.6MPa
最大通路：5
最大轉(zhuǎn)速：800min-1
主要途徑與其特點(diǎn)：

在旋轉(zhuǎn)托盤的冷卻水IN/OUT用，晶圓真空夾緊用
空氣/真空流路可能追加

應(yīng)用端設(shè)備對象：精磨/粗磨、CMP裝置

微信圖片_20230413112720.jpg

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