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ULVAC爱发科 油旋片型真空泵
主要用途
? 蒸镀设备、溅射设备
? 真空热处理炉
? 检漏设备
? 大型腔体排气
高性能?低噪音?低振动的直联型油旋片真空泵。
采用强制给油方式，实现大气压至真空领域的稳定排气。
防回流结构，受到停电等影响停机时，可以防止油回流至真空腔室。
产品简介
详细介绍
ULVAC爱发科 油旋片型真空泵
ULVAC爱发科 油旋片型真空泵
ULVAC集团成立于1952年。自创业以来，与液晶平板显示器、半导体和电子元件以及汽车、食品和制药等一般工业设备等广泛行业的业务合作伙伴一起，通过挑战利用真空技术创造创新，努力创造新的价值。在显示器、半导体、电子、电气、金属、机械、汽车、化工、食品、制药等行业以及大学和研究机构的真空设备、周边设备、真空元件和材料的开发、制造、销售、客户支持、进出口。此外，还是真空技术的研究主管和技术顾问。旨在通过相互合作和协作以及真空技术和周边技术的综合使用，为工业和科学的发展做出贡献。
主要用途
• 蒸镀设备、溅射设备
• 真空热处理炉
• 检漏设备
• 大型腔体排气
可选择空冷或水冷：可根据环境选择。使用了油冷却器降油温。
• 内置油雾分离器：油罐内置可拆卸式油雾分离器。
• 追加了低噪音式样（泵转速下降）「VS650B-WL」
型号：
GLD-137AA GLD-137CC GLD-202AA GLD-202BB GLD-280A
GHD-031A GHD-101A
GCD-051X GCD-136X GCD-201X
VD151 VD201 VD30C VD40C VD60C VD90C
VS1501 VS2401
VS650B-A VS650B-W VS750B-A VS750B-W VS650B-WL
PVD-180 PVD-360
PKS-016 PKS-030 PKS-070B