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3轴加速度在线振动传感器
常用于：半导体 晶片生产中使用的多关节机器人的振动检查，
生产半导体晶片时，必须使用多关节机器人进行生产，3轴加速度传感器MA3系列"可以检测到发生了异常的冲击，
3轴加速度传感器MA3系列"通过模拟电压的变化输出X、Y、Z方向的加速度。输出可导入PLC，设置阈值进行判定
产品简介
详细介绍
3轴加速度在线振动传感器
3轴加速度在线振动传感器
3轴加速度传感器引线型
半导体晶片生产中使用的多关节机器人的振动监视开发·面向品质管理的事例介绍
生产半导体晶片时，必须使用多关节机器人进行生产。
在这种情况下，机器人搬运时给产品带来的异常冲击会导致产品质量劣化，因此是一个很大的课题。
因此，本公司产品的“3轴加速度传感器MA3系列"可以检测到发生了异常的冲击，因此有组装到机器人中使用的例子。
“3轴加速度传感器MA3系列"通过模拟电压的变化输出X、Y、Z方向的加速度。输出可导入PLC，设置阈值进行判定。
根据判定结果通知异常，根据情况也可以停止设备。
“3轴加速度传感器MA3系列"有通用型和高频型两种，可以根据产生的加速度的频带选择。
另外，根据发生的加速度的大小，也可以选择测量范围。
设备状态监测的最佳一台建议！
支持高G、高频的3轴加速度传感器
不需要内置放大器工程，连接也很简单。
国内生产、高品质、公司内部校正品质支持体制完备。
冲压机发生异常时自动停止，防止模具破损和成品率下降
拾音器的对应幅度很丰富。冲压机的高G高频的冲击也能测量。
不仅是加工装置的异常发生，还进行原因的确定，提高成品率、生产效率
通过对加速度的测量数据进行频率分析等，确定发生异常预兆的部件。
将切削加工装置与其他公司制造的PLC（序列发生器）连接，也可以进行导入成本低的异常监视
因为是内置放大器，所以只需直接连接已经导入的PLC就可以测量。
| 型式 | 検出範囲 | |
|---|---|---|
| 5VDC入力時 | 3VDC入力時 ※1 | |
| MA3-04AD | ±40m/s2 (±4G) | ±20m/s2 (±2G) |
| MA3-10AD | ±100m/s2 (±10G) | ±50m/s2 (±5G) |
| MA3-20AD | ±200m/s2 (±20G) | ±100m/s2 (±10G) |
| MA3-50AD | ±500m/s2 (±50G) | ±250m/s2 (±25G) |
| MA3-100AD | ±1000m/s2 (±100G) | ±500m/s2 (±50G) |
| MA3-1000AD | ±10000m/s2 (±1000G) | ±10000m/s2 (±1000G) |
※1 弊社モーションレコーダーシリーズに接続した場合、こちらの検出範囲になります。
| 型式 | 検出感度 |
|---|---|
| MA3-04AD | 50mV/m/s2 ±10% (500mV/G ±10%) |
| MA3-10AD | 20mV/m/s2 ±10% (200mV/G ±10%) |
| MA3-20AD | 10mV/m/s2 ±10% (100mV/G ±10%) |
| MA3-50AD | 4mV/m/s2 ±10% (40mV/G ±10%) |
| MA3-100AD | 2mV/m/s2 ±10% (20mV/G ±10%) |
| MA3-1000AD | 0.1mV/m/s2 ±10% (1.0mV/G ±10%) |
| 型式 | オフセット電圧 |
|---|---|
| MA3-04AD | Vcc/2 ±0.2V |
| MA3-10AD | Vcc/2 ±0.1V |
| MA3-20AD | |
| MA3-50AD | |
| MA3-100AD | |
| MA3-1000AD | |
| 型式 | 応答周波数 ※2 |
|---|---|
| MA3-04AD | 0.8～1000Hz |
| MA3-10AD | |
| MA3-20AD | |
| MA3-50AD | |
| MA3-100AD | |
| MA3-1000AD | 0.8～2000Hz |
※2 ±3dBにて規定
| 型式 | 非直線性 |
|---|---|
| MA3-04AD | ±2%FS |
| MA3-10AD | |
| MA3-20AD | |
| MA3-50AD | |
| MA3-100AD | |
| MA3-1000AD | ±1.5%FS |
| 項目 | 仕様?定格 |
|---|---|
| 供給電圧(Vcc) | 3～5VDC |
| 消費電流 | 0.5mA未満 |
| 他軸感度 | ±10% |
| 動作温度 | ?20～80℃ |
| 保存温度 | ?30～90℃ |
| 最大印加電圧 | 7V |
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