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| 泵轴位置 | 其他 | 输送介质 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 叶轮数目 | 其他 | 应用领域 | 化工,能源,综合 |
高温均匀分布：在CVD、蚀刻等工艺下使反应性气体(升华性气体)可以以气体形态排气。
可以减少气体固化量。
强耐腐蚀性：主要零件采用耐腐蚀性强的表面处理。减少腐蚀性气体排气时的腐蚀性。
产品简介
详细介绍
ULVAC爱发科 罗茨型干泵真空泵
ULVAC爱发科 罗茨型干泵真空泵
ULVAC集团成立于1952年。自创业以来，与液晶平板显示器、半导体和电子元件以及汽车、食品和制药等一般工业设备等广泛行业的业务合作伙伴一起，通过挑战利用真空技术创造创新，努力创造新的价值。在显示器、半导体、电子、电气、金属、机械、汽车、化工、食品、制药等行业以及大学和研究机构的真空设备、周边设备、真空元件和材料的开发、制造、销售、客户支持、进出口。此外，还是真空技术的研究主管和技术顾问。旨在通过相互合作和协作以及真空技术和周边技术的综合使用，为工业和科学的发展做出贡献。
利用铝材优异的热传导性能使排气腔室整体高温分布均匀。适用于半导体?电子设备和显示器制造的
CVD或蚀刻等会产生升华性气体的工艺
高温均匀分布：在CVD、蚀刻等工艺下使反应性气体(升华性气体)可以以气体形态排气?？梢约跎倨骞袒?。
• 强耐腐蚀性：主要零件采用耐腐蚀性强的表面处理。减少腐蚀性气体排气时的腐蚀性
型号：
LR60 LR90 LR180 LR421 LR421-T
LR300 LR600 LR1200 LR1800
LR3601 LR3601-T LR3601-R LR3601-TR
HR60 HR90 UR421-T
HR300 HR600 UR600
HR1200 UR1200 UR1800 UR3601-TT