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產(chǎn)地類別	進口	應用領域	電子/電池,航空航天,汽車及零部件,電氣,綜合

ZEISS/蔡司Axio Imager Vario正置顯微鏡

用于大型樣品的正置顯微鏡

介紹

ZEISS/蔡司Axio Imager Vario正置顯微鏡分析極小的MEMS傳感器或整塊平板。其支柱設計讓您可以檢測超大樣品，同時保持高度穩(wěn)定性。此外，Axio Imager Vario已獲得潔凈室使用認證。

· 檢查大型樣品

· 可兼容潔凈室

· 始終保持對焦

產(chǎn)品優(yōu)勢

檢查大型樣品

選擇手動或電動支柱，盡享可檢測最大尺寸為300 mm × 300 mm、最大高度為254 mm樣品的優(yōu)勢。無論是處理重型樣品還是與蔡司LSM材料共聚焦激光掃描顯微鏡結合使用，堅固的支柱設計均可防振動，提供可靠的穩(wěn)定性。

ZEISS/蔡司Axio Imager Vario正置顯微鏡

獲得潔凈室工作認證

晶圓和光掩模檢測對清潔度的要求非常高。因此，檢查需要在潔凈室內(nèi)完成。根據(jù)DIN EN ISO 14644-1標準，以每立方米內(nèi)顆粒數(shù)量和大小將潔凈室劃分成不同等級。Axio Imager Vario已通過該標準認證，滿足5級潔凈室的要求。ISO 5級潔凈室相當于原FED STD 209E（1992）標準的100級。