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One-XY 中行程集成 XY 线性平移台产品规格

型号
	ONE-XY60	ONE-XY100	ONE-XY200	ONE-XY300
电动轴	XY	XY	XY	XY
行程范围	50 mm	90 mm	190 mm	290 mm
最大速度	200 mm/s	200 mm/s	200 mm/s	200 mm/s
最小位移增量	50 nm	50 nm	50 nm	50 nm
最大加速度	0.3 G	0.3 G	0.2 G	0.2 G
连续运动力	10 N	10 N	20 N	53 N
峰值驱动力	21 N	21 N	42 N	107 N
中心负载能力	100 N	120 N	150 N	350 N
精度，典型值	±0.4 µm	±0.5 µm
精度，保证值 1	±1.5 µm	±2.0 µm	±2.5 µm	±3.0 µm
双向重复精度，典型值	±0.040 µm	±0.040 µm
平面度，典型值	±0.5 µm	±1.0 µm	±2.0 µm	±3.0 µm
直线度，典型值	±0.5 µm	±1.0 µm	±2.0 µm	±3.0 µm
俯仰，典型值	±15 µrad	±20 µrad
俯仰，保证值	±55 µrad	±65 µrad	±75 µrad	±90 µrad
偏摆，典型值	±15 µrad	±25 µrad
偏摆，保证值	±55 µrad	±65 µrad	±75 µrad	±90 µrad
滚转，典型值	±29 µrad	±29 µrad	±36 µrad	±24 µrad
正交性 2	96 µrad	96 µrad	96 µrad	96 µrad
原点重复精度	±0.1 µm	±0.1 µm	±0.1 µm	±0.1 µm
电缆长度	3 m	3 m	3 m	3 m
宽度	125 mm	184 mm	275 mm	500 mm
重量	2.9 kg	5.8 kg	12 kg	75 kg
MTBF	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)
RoHS

注释:

高精度（HA）版本可供选择。在安装表面上方 50 毫米处，位移台中心线上测量的规格。 Newport 提供 NIST 可追溯的测试结果。

1. 对于ONE-XY-HA 版本，保证精度有所不同。

2. 对于ONE-XY-HA 版本，垂直度降低到 5 µrad。

One-XY 中行程集成 XY 线性平移台特征

刚度增强

为实现更好的稳定性，交叉滚子轴承的宽间隔和厚中间板确?？烧攵孕鄹涸靥峁└叩母斩?。

微米级平直度和平整度

由于 ONE-XY 精密的表面处理和交叉滚子轴承，它实现了微米级的平直度和平整度。

无铁心线性电机

高效率，无铁心线性电机具有更高的速度、加速度和系统响应性的优点，而不会磨损电机电刷或驱动螺杆，从而显著减少发热量。此外，无铁心线性电机的非齿槽特性确保了出色的速度稳定性。无铁心电机不仅可以提供这些优点，还能实现高产量和高可靠性。

集成的 X 轴 和 Y 轴

ONE-XY 最显着的特点是其 3 板设计，同时允许在 X 和 Y 方向上移动，且比堆叠平移台更薄。设计中内置有正交性，因此提高了 XY 精度。

Compatible Controllers

Compatible motion controllers for these linear motor driven stages are:

●XPS-RLD Motion Controller (2 or 4 Axis): Requires an XPS-DRV02 Driver Module and a E5820A Encoder Adapter for each axis.

●XPS-D Motion Controller (2 , 4 , 6  or 8 Axis): Requires an XPS-DRV02 Driver Module and a E5820A Encoder Adapter for each axis