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池田屋实业（深圳）有限公司
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产品介绍
池田屋直营??！日本ENERGYS 微量氧分析仪 TF-21D201
池田屋直营??！日本ENERGYS 微量氧分析仪 TF-21D201
传感器和接收器可以分离
重量轻、结构紧凑，可集成到设备中
低浓度（0-10 ppm范围）
用法
半导体制造设备：扩散炉、RTP、各种N2炉气氛测量、空气分离设备
| 格式 | TF-21D201（TF-21型传感器+DTF-201型接收器） | |
|---|---|---|
| 传感器 | TF-21 | |
| 接收者 | DTF-201 | |
| 测量原理 | 氧化锆浓差电池系统 | |
| 测量范围 | 最小 0-10 ppm 至最大 0-100% 四个范围可选，零点固定 | |
| 校准 | 空气点 + 最多可校准 4 点 | |
| 输出 | 4 至 20mA DC x 1 点（非绝缘输出，负载电阻 600Ω 或更小） 0 至 1V DC 或 0 至 5V DC 或 0 至 10V DC x 1 点可?。ǚ蔷凳涑觯?/td> | |
| 样气/校准气流量 | 0.5±0.02升/分钟。 | |
| 准确性 | 重复性 | ±1% FS（小于0至1%范围）±0.5% FS（0至1%范围或以上） |
| 线性 | ±1% FS（0 至 1% 或以上）、±2% FS（0 至 1% 以下）、±3% FS（0 至 100 ppm 以下） | |
| 响应时间 | 0-1% 或以上：10 秒或更短 0-1% 或更短：30 秒或更短 *通过切换校准气体可实现 90% 的响应 | |
| 漂移 | ±2%FS/周以下 | |
| 电源 | AC85至132V *选项：AC170至264V，DC24V±10% | |
| 接点输入（无电压接点输入） | 范围切换输入 | |
| 接点输出 （开路集电极输出， DC25V，最大50mA ，NO/NC可切换） | 分析仪异常 量程回波（2 量程鉴别） 量程回波（3 量程鉴别） READY 浓度上限报警（可设定 0.0 至 9990.0 ppm 或 0.0 至 100.0%） 浓度下限报警（可设定 0.0 至 9990.0 ppm 或 0.0 至 100.0%） *从上面选择 4 点，可以更改设置 | |
| 量程切换 | 本地量程切换 / 远程量程切换 / 自动量程切换 *从上面选择并更改设置 | |
| 输出HOLD设置 | 无、任意值或错误发生前 5 秒的值。 *预热期间或传感器或接收器发生错误时按住。 | |
| 浓度上下限报警 | 上限报警：可设定0.0～9990.0 ppm或0.0～100.0% 下限报警：可设定0.0～9990.0 ppm或0.0～100.0% | |
| RS232C通讯功能 | 传输测量状态、错误代码、测量范围、测量值。 通信电缆规格：直通电缆 | |
| 格式 | SH-304 | |
|---|---|---|
| 传感器 | TF-21 | |
| 接收者 | DTF-201 | |
| 测量原理 | 氧化锆浓差电池系统 | |
| 测量范围 | 0-10 / 100 / 1,000 ppm, 0-100% * 最小 0-10 ppm ~ 最大 0-100% 可在零点固定的情况下选择 4 个量程中的任意一个 | |
| 校准 | 空气点 + 最多可校准 4 点 | |
| 输出 | DC4～20mA×1点（非绝缘输出，负载电阻600Ω以下） DC0～1V×1点（非绝缘输出） | |
| 样气/校准气流量 | 0.3±0.05升/分钟。 | |
| 准确性 | 重复性 | ±1% FS（小于0至1%范围）±0.5% FS（0至1%范围或以上） |
| 线性 | ±3% FS（0 至小于 100 ppm）±2% FS（0 至小于 1%）±4% FS（0 至 1% 或以上） | |
| 响应时间 | 0-1% 或以上：10 秒或更短 0-1% 或更短：30 秒或更短 *通过切换校准气体可实现 90% 的响应 | |
| 漂移 | ±2%FS/周以下 | |
| 电源 | DC24V±10% | |
| 接点输入（无电压接点输入） | 范围切换输入 | |
| 接点输出 （开路集电极输出， DC25V，最大50mA ，NO/NC可切换） | 分析仪异常 READY 浓度上限报警（可设置范围 0.0 至 9990.0 ppm 或 0.0 至 100.0%） 浓度下限报警（可设置范围 0.0 至 9990.0 ppm 或 0.0 至 100.0%） 量程回波（2 个量程鉴别） 量程回波（3 个量程鉴别） * 前 4 项为标准，后 2 项也可更改。 | |
| 量程切换 | 自动量程切换 * 还可以选择远程量程和本地量程切换并更改设置 | |
| 输出HOLD设置 | 在异常发生前 5 秒保持该值。 *预热期间或传感器或接收器发生异常时保持 。*您也可以选择不保持或保持任意值。 | |
| 浓度上下限报警 | 上限报警：可设定0.0～9990.0 ppm或0.0～100.0% 下限报警：可设定0.0～9990.0 ppm或0.0～100.0% | |
| RS232C通讯功能 | 传输测量状态、错误代码、测量范围、测量值。 通信电缆规格：直通电缆 | |
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