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池田屋實(shí)業(yè)(深圳)有限公司
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FPR-PSD-21-6.35UGC#B池田屋現(xiàn)貨?。「皇拷餏UJIKIN 數(shù)控閥
| 參考價(jià): | ￥ 2156 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- FPR-PSD-21-6.35UGC#B 產(chǎn)品型號(hào)
- Fujikin/富士金 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 深圳市 所在地
訪問次數(shù)：110更新時(shí)間：2025-07-12 15:10:28
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
|---|
池田屋實(shí)業(yè)優(yōu)勢(shì)供應(yīng) ，并提供報(bào)價(jià)圖片
產(chǎn)品介紹
池田屋現(xiàn)貨??！富士金FUJIKIN 數(shù)控閥 FPR-PSD-21-6.35UGC#B
池田屋現(xiàn)貨??！富士金FUJIKIN 數(shù)控閥 FPR-PSD-21-6.35UGC#B
富士金（FUJIKIN）是日本的高精度流體控制設(shè)備制造商，其產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、科研等領(lǐng)域。
FPR-PSD-21-6.35UGC#B 是一款高性能數(shù)字控制閥（數(shù)控閥），專為高精度氣體流量控制設(shè)計(jì)，適用于嚴(yán)苛的工業(yè)環(huán)境。
1. 主要特點(diǎn)
高精度控制：流量控制精度可達(dá) ±1% FS（滿量程），適用于微流量調(diào)節(jié)。
快速響應(yīng)：開關(guān)時(shí)間 毫秒級(jí)（通常20-50ms），適合高速工藝需求。
耐腐蝕材料：閥體通常采用不銹鋼（SUS316L），密封材料可選氟橡膠（FKM）、EPDM等，適用于腐蝕性氣體（如HCl、Cl?、NH?等）。
數(shù)字信號(hào)控制：支持RS-485、EtherCAT、PROFIBUS等通信協(xié)議（具體取決于配置），或模擬信號(hào)（4-20mA/0-5V）輸入。
緊湊設(shè)計(jì)：體積小，適合高密度安裝，節(jié)省設(shè)備空間。
高可靠性：適用于7×24小時(shí)連續(xù)運(yùn)行，壽命長(zhǎng)，維護(hù)需求低。
2. 典型應(yīng)用
半導(dǎo)體制造：用于CVD（化學(xué)氣相沉積）、蝕刻、離子注入等工藝的氣體流量控制。
光伏行業(yè)：在薄膜太陽能電池制造中控制SiH?、NH?、NF?等特種氣體。
實(shí)驗(yàn)室設(shè)備：如氣相色譜（GC）、質(zhì)譜儀（MS）等需要高精度流量控制的場(chǎng)景。
3. 技術(shù)參數(shù)（示例，具體以數(shù)據(jù)為準(zhǔn)）
| 項(xiàng)目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 型號(hào) | FPR-PSD-21-6.35UGC#B |
| 接口尺寸 | 6.35mm（1/4英寸） |
| 閥體材質(zhì) | SUS316L（標(biāo)準(zhǔn)） |
| 密封材料 | 氟橡膠（FKM）或其他可選 |
| 工作壓力 | 0.1~0.7 MPa（可定制更高壓力） |
| 流量范圍 | 0~50 SLM（標(biāo)準(zhǔn)氮?dú)?，可定制?/td> |
| 控制信號(hào) | 數(shù)字（RS-485/EtherCAT）或模擬（4-20mA/0-5V） |
| 響應(yīng)時(shí)間 | ≤50ms（全開→全關(guān)） |
| 重復(fù)精度 | ±1% FS |
| 環(huán)境溫度 | 0~50°C（可定制高溫/低溫版本） |
| 認(rèn)證 | CE、SEMI（部分型號(hào)符合半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)） |
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