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池田屋实业(深圳)有限公司
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产品介绍
原装??！EBARA荏原 干式真空泵 EST型 ESA25-D
原装??！EBARA荏原 干式真空泵 EST型 ESA25-D
ESA类型
可排出氢气等轻质气体并对大型腔室进行高速排气的干式真空泵
大型真空室，高速排气
有机溶剂兼容选项
氢气和其他轻气体的尾气
耐腐蚀材料选项
无油
CE 标志/SEMI-S2/NRTL 兼容
非常适合研究机构
吸附特定化学物质
产品介绍
ESA型备有适合氢气等轻质气体排气的排气量1,400L/min～10,000L/min的型号，以及适合大型腔室高速排气的排气量20,000L/min～80,000L/min的型号。容量为 10,000 L/min 或更低的型号适用于轻质气体排放，并具有紧凑的设计和耐腐蚀材料选项。它们是 MO-CVD 等高流量轻气体排气应用的理想选择。大型机型虽然排气量大，但运行安静、振动低，并且还提供有机溶剂排气选件，非常适合用于液晶溅射设备、真空干燥工艺、大型负载锁等。
规格
模型 | 单元 | ESA15-D | ESA25-D | ESA25XW | ESA70W(-D) | ESA70WN(-D) | ESA80W-HDF | ESA80WN-HDF | ESA100W | ESA100WN | ESA200W | ESA300W | ESA500W | ESA700W | |
抽速 | 升/分钟 | 1,400（50赫兹） | 2,500（50赫兹） | 5,000（50赫兹） | 7,000（50赫兹） | 7,000（50赫兹） | 8,400（50赫兹/60赫兹） | 8,400（50赫兹/60赫兹） | 10,000（50赫兹/60赫兹） | 10,000（50赫兹/60赫兹） | 20,000（50赫兹/60赫兹） | 28,000（50赫兹） | 47,000（50赫兹） | 80,000（50赫兹/60赫兹） | |
1,700（60赫兹） | 3,000（60赫兹） | 6,000（60赫兹） | 8,400（60赫兹） | 8,400（60赫兹） | 30,000（60赫兹） | 50,000（60赫兹） | |||||||||
极限压力 | 爸爸 | 400（50赫兹） | 5.3（50赫兹） | 5.3（50赫兹） | 0.27（50赫兹） | 0.4（50赫兹） | 0.13 | 0.27 | 0.13 | 0.27 | 0.53 | 0.53 | 0.53 | 0.5 | |
270（60赫兹） | 4.0（60赫兹） | 4.0（60赫兹） | 0.13（60赫兹） | 0.27（60赫兹） | |||||||||||
连接尺寸 | 进气口 | NW40 | NW50 | ISO80 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW80 | ISO100 | ISO160 | ISO160 | |
排气口 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW50 | ||
极限压力下的近似功率值 | 千瓦 | 2.9（50赫兹） | 2.6（50赫兹） | 5.2（50赫兹） | 3.6（50赫兹） | 3.6（50赫兹） | 4.2 | 4.2 | 4.9 | 4.9 | 3.2（50赫兹） | 6.6（50赫兹） | 5.1（50赫兹） | 7.4 | |
3.2（60赫兹） | 2.9（60赫兹） | 5.8（60赫兹） | 4.0（60赫兹） | 4.0（60赫兹） | 3.4（60赫兹） | 7.3（60赫兹） | 6.7（60赫兹） | ||||||||
冷却水 | 流动 | 升/分钟 | 3.5~8 | 3.5~8 | 7~16 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 6~9 | 6~9 | 6~9 |
温度 | ℃ | 最大限度。三十 | 最大限度。三十 | 最大限度。三十 | 最大限度。三十 | 最大限度。三十 | 最大限度。三十 | 最大限度。三十 | 最大限度。三十 | 最大限度。三十 | 最大限度。三十 | 最大限度。三十 | 最大限度。三十 | 最大限度。三十 | |
氮气 | 流动 | 帕•立方米/秒 | 14~17（4.6） | 17~20（3.8） | 34~40 | 24~27（4.7） | 24~27（4.7） | 54~57 | 54~57 | 54~57 | 54~45 | 17~20（3.8） | 7.5~10.5 | 8.5~11 | 8.5~11 |
电源相位/电压/频率 | 200V型号 | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | |
400V型号 | 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | - | ||
460V型号 | 三相/440V/50Hz | 三相/440V/50Hz | 三相/440V/50Hz | ||||||||||||
供电容量 | 千伏安 | 6.4 | 6.4 | 12.8 | 10.3 | 10.3 | 12.6 | 12.6 | 12.6 | 12.6 | 12 | 23.7 | 41.3 | 46.5 | |
近似质量 | 公斤 | 240 | 240 | 480 | 380 | 380 | 400 | 400 | 400 | 400 | 410 | 700 | 750 | 1200 | |
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