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池田屋实业(深圳)有限公司
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产品介绍
直发！！EBARA荏原 大流量无油真空泵 EST型 EST800WN
直发??！EBARA荏原 大流量无油真空泵 EST型 EST800WN
EST 类型
干式真空泵可抽取大量气体，适用于反应副产物
高温控制
高抽速
高流量排气
采用耐腐蚀材料作为标准
提高耐腐蚀性的选择
高负荷工艺支持
不同频率下性能相同（50/60Hz）
无油
符合 CE 标志/SEMI-S2/NRTL 要求
产品介绍
EST型采用螺杆转子，并配备高温功能，可使泵内的气体保持高温，非常适合CVD等产生反应副产物的应用。
标准采用耐腐蚀材料，实现高抽速和大流量，减少?；奔洳⑻岣吖ひ招?。
规格
| 模型 | 单元 | EST10N | EST25N | EST100WN | EST200WN | EST300WN | EST500WN | EST800WN | |
| 抽气速度 | 升/分钟 | 1,000 | 2,500 | 10,000 | 20,000 | 30,000 | 5万 | 8万 | |
| 极限压力 | 帕 | 2.7 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.5 | |
| 连接尺寸 | 进气 | NW40 | NW40 | NW50 | NW100 | NW100 | ISO160 | ISO200 | |
| 排气口 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | ||
| 极限压力下的近似功率值 | 千瓦 | 2.3 | 3 | 3.2 | 3.2 | 4.5 | 4.6 | 4.6 | |
| 冷却水 | 流动 | 升/分钟 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 |
| 温度 | ℃ | 最大限度。三十 | 最大限度。三十 | 最大限度。三十 | 最大限度。三十 | 最大限度。三十 | 最大限度。三十 | 最大限度。三十 | |
| 氮气 | 流动 | 帕•立方米/秒 | 13~18 | 13~18 | 24~29 | 24~29 | 28~31 | 28~31 | 28~31 |
| 电源相位/电压/频率 | 200V 型号 | 三相/200-220V，50/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | |
| 400V 型号 | 三相/380-440V，50/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | - | ||
| 供电容量 | 千伏安 | 4.6 | 7.3 | 8.2 | 8.5 | 12.7 | 15.1 | 16 | |
| 近似质量 | 公斤 | 260 | 300 | 380 | 430 | 500 | 550 | 840 | |
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