联系电话
池田屋实业(深圳)有限公司
中级会员·3年
具体成交价以合同协议为准
中级会员·3年
- 联系人：
- 周璇
- 电话：
- 0755-22220219
- 手机：
- 17503077078
- 传真：
- 86-755-22220219
- 地址：
- 深圳市龙华区龙华街道松和社区汇食街一巷10号展源商务大厦 1207
- 个性化：
- www.gor.com.cn
- 网址：
- www.ikedaya.cn/
扫一扫访问手机商铺
产品介绍
全新??！EBARA荏原 紧凑型干式真空泵 EV-X300N
全新??！EBARA荏原 紧凑型干式真空泵 EV-X300N
EV-X型
结构紧凑、节能，单个装置可覆盖多种工艺
适用于中等负荷工艺
高温控制
节能
采用耐腐蚀材料作为标准
提高耐腐蚀性的选择
不同频率下性能相同（50Hz/60Hz）
无油
符合 CE 标志/SEMI-S2/NRTL 要求
占地面积小
该款中负荷工序用干式真空泵搭载了荏原d特的节能技术，并采用了针对自动化工厂制造而优化的模块化设计，实现了进一步的小型化和节能化。
宽范围的温度控制扩大了适用工艺。
宽范围的温度控制扩大了适用工艺。
由于同一型号可覆盖多个工艺，因此可优化备用设备库存，减少维护和培训工作，并可灵活适应未来的工艺扩展。
此外，通过对各工序进行最佳温度控制，可提高工序耐性，并可延长零件的更换周期，有助于降低TCoO。
支持的应用示例：各种蚀刻和CVD、灰化、离子注入、外延生长等。
支持的应用示例：各种蚀刻和CVD、灰化、离子注入、外延生长等。
产品规格
| 型式 | EV-X100N | EV-X200N | EV-X300N |
|---|---|---|---|
| 最大处理风量(L/min) | 10,000 | 20,000 | 30,000 |
| 到达压力(Pa) | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
| 电源规格 | 3相200-220V (50/60Hz) | 3相200-220V (50/60Hz) | 3相200-220V (50/60Hz) |
| 到达底压时消耗电力(kW)* | 0.9 | 1 | 1.5 |
相关产品
