联系电话
- 联系人:
- 周璇
- 电话:
- 0755-22220219
- 手机:
- 17503077078
- 传真:
- 86-755-22220219
- 地址:
- 深圳市龙华区龙华街道松和社区汇食街一巷10号展源商务大厦 1207
- 个性化:
- www.gor.com.cn
- 网址:
- www.ikedaya.cn/
扫一扫访问手机商铺
琳得科LINTEC 高速响应质量控制器 流量计 MC-7000C
琳得科LINTEC 高速响应质量控制器 流量计 MC-7000C
池田屋实业(深圳)有限公司成立于2015年,位于广东省深圳市,是一家从事中日贸易的企业。
公司经过多年的发展,已整合多方海外厂商渠道,有稳定的合作关系,为企业提供售卖、维修、售后等一系列节能降本的服务。
池田屋主要经营日本科学仪器设备、实验室仪器、各类检测仪器、测量仪器、食品设备、光学设备、精密传感器等各类工业流通产品。
公司拥有专业的销售团队、技术团队、*的管理团队,通过全体员工的不懈努力,凭借在工业品领域的专业水平和成熟技术,
服务于电子消费类、半导体,液晶光电,汽车业、造船业、地铁、等专业用户里的世界500强企业。
高速响应质量流量控制器
响应时间为 200 毫秒的超高速质量流量控制器。
热传感器实现100毫秒(典型值)的高速流量控制。 Lintec 的非接触式热流量传感器和压电控制阀可以实现腐蚀性气体的超高速流量控制。
流量精度高,可达±1.0%SP,数字通信方式可选择DeviceNet或EtherCAT。
使用示例
高速蚀刻工艺
在半导体制造过程中,需要在实现微型化的同时提高产量。对于控制反应气体流速的质量流量控制器而言,缩短流量控制启动(上升)时间的需求也日益增加。超高速质量流量控制器[MC-7000]是流量传感器与被测气体不接触的非接触式热式流量传感器,实现了200毫秒的超高速响应。由于是非接触式,因此可以对腐蚀性气体的流量测量进行高速流量控制。
规格
温度 | 最小压差 | 最大压差 | 准确性 | 控制范围 | 最小满量程 | 最大满量程 | 海豹 |
5~50℃ | 50千帕 | 300千帕 | ±1%标准差 | 2~100%满量程 | 5SCCM | 20秒 | 金 |