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池田屋实业(深圳)有限公司
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产品简介
| 泵轴位置 | 其他 | 抽气量 | 见参数 |
|---|---|---|---|
| 抽气速率 | 见参数l/s | 电压 | 见参数V |
| 功率 | 见参数kW | 极限压力 | 见参数pa |
| 流量 | 见参数m3/h | 排出口径 | 见参数mm |
| 输送介质 | 其他 | 外形尺寸 | 见参数 |
| 扬程 | 见参数m | 叶轮数目 | 其他 |
| 应用领域 | 食品/农产品,化工,能源,建材/家具,综合 | 重量 | 见参数kg |
| 最大工作压强 | 见参数 | 订货号 | 175.030.770.78 周璇 |
MS系列是螺杆型干式真空泵。
在传统的LS系列的基础上，提高了耐腐蚀性和粉末排出性能。
该型号专为使用腐蚀性气体和有粉末排出的工艺设计。
产品介绍
ULVAC爱发科 MS 系列 螺杆型干泵 真空泵
ULVAC爱发科 MS 系列 螺杆型干泵 真空泵
特点
通过对转子轴和气缸等主要部件进行特殊涂层处理，以防腐蚀。
采用ULVAC设计的转子轴，实现高性能的排粉。
从大气压到极限压力，可以在全压力区域连续运行。
用途
半导体和电子器件制造设备相关的真空排气系统，如刻蚀设备、去胶设备、等离子清洗设备等。
真空热处理炉真空排气系统，如烧结炉、渗碳炉等。
锂电池制造设备真空排气系统，如电极干燥设备、脱泡设备、注液设备等。
医疗食品设备相关的真空排气系统，如冷冻干燥设备、真空干燥设备等。
规格
| 型号 | MS120A | MS600A | MS1200A | |
| 最大排气速度 *1 | m3/h | 115 | 560 | 980 |
| 到达压力 | Pa | ≦0.6 | ≦0.1 | |
| 电源电压 | 200V Class：3Phase, 50/60Hz, AC200-240V±10% or 400V Class：3Phase, 50/60Hz, AC380-480V±10% | |||
| 消费电力概略值 *2 | kW | 2.4 | 3.1 | 3.1 |
| 冷却水量 | L/min | >4.0 | ||
| Purge gas量 *1 | SLM | 0~50 | ||
| 最大水蒸气处理量 *1*3 | kg/h | 1.5 | ||
| 噪音值 *1 | dB(A) | 61 | 62 | 64 |
| 吸气口 | KF50(Horizontal) / VG50(Vertical) | ISO-F-80 | ISO-F-100 | |
| 排气口 | KF40 | |||
| 质量 *4 | kg | 139 | 241 | 264 |
| 适用规格 | CE、cTUVus | |||
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