日本SIMCO思美高负离子器
具有广泛可调性和ISO 14644-12电离的调制脉冲技术
日本SIMCO思美高负离子器
Simco-Ion 的 AeroBar 5635 调制脉冲电离棒专为消除半导体和其他需要快速放电时间、低摆幅电压和精密平衡的超洁净制造工艺中的静电荷而设计。5635 型采用 MP 技术，将高频正弦波与调制脉冲 （MP） 相结合，以实现高离子输出和传输。这项突破性技术使 AeroBar 能够安装在晶圆 150 mm 以内。MP 技术与超洁净硅发射点和精密调节相结合，可提供 ISO 14644-12 电离（0.01 μm 颗?；蚰擅卓帕＃┖?ISO 14644 1 级（0.1 μm 颗粒）清洁度，这对于较小的技术节点至关重要。
扩展 ISO 1 级 （10 nm） 颗粒 清洁
调制脉冲技术
出色的横向均匀性
低场电压
空气辅助功能
可选软件，界面易于使用，可调节性广
报警输出信号
日本SIMCO思美高负离子器
规格
| 电压 | 输入：24 VDC ±10% 功率输入 RJ-45;0.7A（最大值）
输出：13.5 kV p-p（最大值），可调 |
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| 放电 | 15 秒内 ±1000-100V（典型值），无空气辅助，发射极中心点组下方 24“ 处 Vp-p 摆动为 80 |
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| 平衡 | <±35V 在受控环境中以 18“ 距离测量 |
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| 离子发射 | 调制脉冲 （MP） 技术 |
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| 发射 | ISO 14644-1 1 类单晶硅 |
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| 洁净室类 | ISO 14644-1（0.1 μm 颗粒）和扩展的 ISO 1 级清洁度（10 nm 颗?；蚰擅卓帕＃?，使用 45-50% 输出电压设置和带有单晶硅发射器的 OpenJet 喷嘴 |
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| 尺寸 | 3.1 英寸（高）x 1.3 英寸（宽）x 17.7 / 23.6 / 33.5 / 39.3 / 45.3 / 51.2 / 57.1 / 63.0 / 69.0 / 74.8 / 80.7 / 86.6 / 92.5 英寸长（7.8 x 3.4 x 45 / 60 / 85 / 100 / 115 / 130 / 145 / 160 / 175 / 190 / 205 / 220 / 235 厘米） |
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