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高真空隔膜泵的工作過程及應(yīng)用領(lǐng)域

閱讀:497      發(fā)布時間:2023-11-2
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  高真空隔膜泵是一種常用的真空泵,它采用隔膜作為工作部件,通過往復(fù)運(yùn)動實現(xiàn)氣體的吸入和排出。具有結(jié)構(gòu)簡單、體積小、噪音低、維護(hù)方便等優(yōu)點(diǎn),在實驗室研究、半導(dǎo)體制造、化學(xué)工業(yè)、真空包裝和光學(xué)設(shè)備等領(lǐng)域都有廣泛的應(yīng)用。
  

 

  高真空隔膜泵通常由以下幾個部分組成:
  
  1.泵體:泵體是隔膜泵的主體部分,內(nèi)部包含工作室、進(jìn)氣閥和排氣閥等。
  
  2.隔膜:隔膜是隔膜泵的關(guān)鍵部件,采用柔性材料制成,具有良好的密封性和耐磨性。
  
  3.活塞桿:活塞桿與隔膜連接,通過往復(fù)運(yùn)動帶動隔膜的工作。
  
  4.進(jìn)氣閥和排氣閥:進(jìn)氣閥和排氣閥分別控制氣體的吸入和排出,確保泵的正常工作。
  
  5.驅(qū)動裝置:驅(qū)動裝置通常采用電動機(jī)或氣動裝置,用于提供泵的動力。
  
  工作過程:
  
  1.吸入階段:電動機(jī)或氣動裝置帶動活塞桿向下運(yùn)動,使隔膜工作室內(nèi)的容積增大,形成負(fù)壓。此時,進(jìn)氣閥打開,使氣體被吸入工作室。
  
  2.排出階段:電動機(jī)或氣動裝置帶動活塞桿向上運(yùn)動,使隔膜工作室內(nèi)的容積減小,形成正壓。此時,進(jìn)氣閥關(guān)閉,排氣閥打開,使氣體被排出。
  
  3.循環(huán)運(yùn)行:通過不斷地往復(fù)運(yùn)動,實現(xiàn)氣體的連續(xù)吸入和排出,從而形成真空。
  
  高真空隔膜泵的應(yīng)用領(lǐng)域:
  
  1.實驗室研究:常用于實驗室中的真空系統(tǒng),用于提供高真空環(huán)境,如真空干燥、真空冷凍等。
  
  2.半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體制造過程中,需要高純度的真空環(huán)境,可以滿足這一需求,用于沉積薄膜、清洗表面等工藝。
  
  3.化學(xué)工業(yè):常被應(yīng)用于化學(xué)工業(yè),如氣體吸收、蒸餾、萃取等過程,用于提供穩(wěn)定的真空環(huán)境。
  
  4.真空包裝:可以用于食品、醫(yī)藥等行業(yè)的真空包裝,延長產(chǎn)品的保鮮期和質(zhì)量。

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