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貨物所在地：浙江杭州市
更新時間：2024-10-23 21:57:22
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EBARA EV-SA系列真空干泵
EBARA EV-SA系列真空干泵
是無需冷卻水的小型空冷干式真空泵。盡管屬于安裝自由度高的小型設(shè)計，最大排氣速度達到5000L/min，具有節(jié)能、低噪的優(yōu)點，除了用于生產(chǎn)工廠以外，還可用于實驗室和研究室等各種不同環(huán)境，也是是各種分析儀器和電子顯微鏡等潔凈排氣用途的優(yōu)質(zhì)選擇。
技術(shù)特點：
l 小型、輕量、占地面積小
l 風(fēng)冷
l 節(jié)能
l 低噪音
l 雙螺桿結(jié)構(gòu)
l 無需維護
l 認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)： CE、SEMI-S2/NRTL
典型應(yīng)用：
l 科研實驗室
l PVD真空鍍膜
l 質(zhì)譜儀
l 等離子清洗
l 半導(dǎo)體、光伏制程
技術(shù)參數(shù)：
設(shè)備名稱 | 單位 | EV-SA20 | EV-SA30 | EV-SA50 | |||||||
排氣速度 | L/min | 1,670 | 3,300 | 5,000 | |||||||
極限壓力 | Pa | 3.0/ 5.0* | 2.0/ 3.0* | 0.5/1.0* | |||||||
連接口徑 | 吸氣口 |
| NW40 | NW40 | NW50 | ||||||
排氣口 |
| NW40 | NW40 | NW40 | |||||||
極限壓力時功率概值 | kW | 0.45 | 0.45 | 0.5 | |||||||
冷卻方式 |
| 空冷 | 空冷 | 空冷 | |||||||
電源 | 額定電壓 50/60Hz |
| 單相 200-240V | 單相 200-240V | 單相 200-240V | ||||||
電壓允許波動范圍 |
| ±10% | ±10% | ±10% | |||||||
電源容量 | kVA | 3.0 | 3.0 | 3.0 | |||||||
質(zhì)量概值 | kg | 65 | 90 | 150 | |||||||
*為氣鎮(zhèn)打開時數(shù)值 | |||||||||||
尺寸圖：
型號 | EV-SA20 | EV-SA30 | |
尺寸（mm） | 長 | 584 | 713 |
寬 | 324 | 356 | |
高 | 347 | 347 | |
(空格分隔,最多3個,單個標(biāo)簽最多10個字符)
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