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這種半導(dǎo)體應(yīng)變計是將單晶硅錠切片、研磨、腐蝕壓焊引線,最后粘貼在鋅酚醛樹脂或聚酰亞胺的襯底上制成的。體型半導(dǎo)體應(yīng)變計可分為6種:
①普通型:它適合于一般應(yīng)力測量;
②溫度自動補償型:它能使溫度引起的導(dǎo)致應(yīng)變電阻變化的各種因素自動抵消,只適用于特定的試件材料;
③靈敏度補償型:通過選擇適當(dāng)?shù)囊r底材料(例如不銹鋼),并采用穩(wěn)流電路,使溫度引起的靈敏度變化極小;
④高輸出(高電阻)型:它的阻值很高(2~10千歐),可接成電橋以高電壓供電而獲得高輸出電壓,因而可不經(jīng)放大而直接接入指示儀表。
⑤超線性型:它在比較寬的應(yīng)力范圍內(nèi),呈現(xiàn)較寬的應(yīng)變線性區(qū)域,適用于大應(yīng)變范圍的場合;
⑥P-N組合溫度補償型:它選用配對的P型和N型兩種轉(zhuǎn)換元件作為電橋的相鄰兩臂,從而使溫度特性和非線性特性有較大改善。