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氣動主動微振動控制系統(tǒng)“α系列"特許機器株式會社可以支持從3點到多點！根據(jù)設備規(guī)格和要求量身定制的微振動控制技術
“α系列"是一款氣動主動微振動控制系統(tǒng)，匯集了微振動控制技術的精華。
半導體和液晶變得越來越精細，為了提高生產(chǎn)效率，
向著更高精度和更快的速度轉變，這就
需要能夠快速消除大的直動擾動的技術。該產(chǎn)品滿足了這些市場需求，具有
優(yōu)異的隔振性能、控制性能和恢復性能。
[特點] ■優(yōu)異的隔振性能■穩(wěn)定時間快，位置控制準確■高耐用性*詳情請參閱PDF文檔或隨時聯(lián)系我們。
基本信息氣動主動微振動控制系統(tǒng)“α系列"
[氣動控制的特點]
■低范圍隔振性優(yōu)異
■易于承受靜載荷
■易于控制位置姿勢
■大行程
■無蠕變
■無發(fā)熱
■無磁通泄漏
*詳情請參閱PDF文件請查看或隨時與我們聯(lián)系。
