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Chiller高精度换热温控单元PHE系列产品，可实现对设备出口温度的精准控制，控温精度在±0.1℃以内。产品主要应用于半导体制程中CVD/PVD、Etch和IMP精确控温领域，激光、医疗和精密实验室温控方案。主要部件均采用国际的品牌，产品稳定性高。循环系统包括循环泵、电加热管、板式换热器、水箱、排气阀、单向阀、热电阻、管道等组成?？刂葡低巢捎肞ID控制技术，高清触摸屏显示，设有多项?；すδ?，确保设备安全运行。通过机组自身的制冷与加热，向外界输送载热流体，满足工艺条件要求。