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当前位置：武汉辰龙天和科技有限公司>>高精度光谱共焦>> 光谱共焦位移传感器LT-C4000N探头
| 参考距离：14.5mm |
| 测量范围：±2mm |
| 光斑直径：Φ12μm |
| 测量角度：±21° |
| 静态噪声*2：160nm |
| 线性误差：＜±0.8μm |
| 横向分辨率：6μm |
| 外径*长度：φ32*159mm |
| 重量：238g |
| 最小可测厚度：5% of F.S. |
| 温度特征：＜0.03% of F.S./℃ |
| 防护等级：IP40 |
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