光谱共焦/同轴光位移传感器LT-C系列

更小的测量盲区

更高精度的尺寸及位移复现能力

高灵敏度光学非接触测量

多膜层/多层玻璃测厚能力

同轴式测量配置，避免了激光三角传感器的角度限制，缩小测量盲区，

适合复杂细微结构（如深沟槽结构等）的测量。

针对光谱共焦位移传感器研制开发的HC-CC物镜采用近十片镜片，能够实现最小10微米的成像光斑，同时提高测量线性精度。

针对光谱共焦位移传感器定制开发的杂散光抑制优化光谱仪以及高亮度彩色激光光源，都能够大幅提高传感器的测量灵敏度，能够对表面返回的极弱的光强（如薄膜等透明物体）完成测量。

光谱共焦传感器适合各种材料的测量，并能确保对不同材料的测量性能，同时支持多膜层/胶合玻璃的多层厚度测量。

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光谱共焦/同轴光位移传感器LT-C系列安装于测量现场的探头是纯光学器件，通过光纤与控制器连接