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聚焦離子束掃描電子顯微鏡產品有哪些特點?

閱讀:583      發(fā)布時間:2023-4-4
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聚焦離子束掃描電子顯微鏡(FIB-SEM):聚焦離子束(FIB)技術利用高強度聚焦離子束對材料進行納米加工,配合掃描電鏡(SEM)等高倍數電子顯微鏡實時觀察,成為了納米級分析、制造的主要方法。目前廣泛應用于半導體集成電路修改、切割和故障分析、TEM制樣等。

Thermo Scientific™? Helios™? 5 Laser PFIB,可以利用納米級分辨率實現快速3D表征毫米尺度材料。集成了Thermo Scientific Elstar SEM鏡筒(用于超高分辨率成像和先進的分析能力)、等離子FIB鏡筒(可在所有操作條件下實現最佳性能)以及飛秒激光,可實現以從前無法通過商業(yè)化產品獲得的速率進行原位材料刻蝕。

激光使切割金屬和其他材料的速度比典型的鎵FIB(Ga-FIB)快數千倍。飛秒激光脈沖的超短持續(xù)時間幾乎不引入任何偽像,并且與傳統(tǒng)技術相比,具有更高的定點精度。在大多數情況下,飛秒激光銑削的表面足夠清潔,可以直接進行SEM成像,并且質量對于表面敏感的EBSD面分布技術通常足夠了。當需要進一步改善表面質量時,可以使用簡短的PFIB拋光程序來揭示超細特征。
 

飛秒激光器集成在樣品艙內。所有三個光束(SEM,FIB和激光)都有單個重合點,可在它們之間進行快速切換,并實現準確且可重復的切割定位。這樣的設計允許全自動序列斷層掃描來獲取3D數據集。它還可以在同一真空樣品艙中通過fs激光處理和高分辨率SEM成像輕松快速地表征空氣敏感樣品(例如電池),無需樣品轉移。
 

使用Helios 5 Laser PFIB,研究人員可以在幾分鐘之內分析一度無法進入的樣品區(qū)域,從而使他們能夠快速表征微觀結構并查明失效的根本原因,從而進一步改善材料性能。此外,他們可以設置大容量分析,以在夜間自動完成,從而節(jié)省了儀器時間來完成其他任務,例如高級樣品制備或原位實驗。
 

除了金屬,他新的激光PFIB使學術和工業(yè)用戶能夠快速表征各種材料,包括電池、玻璃、陶瓷、油漆涂料、聚合物、生物材料等。它還可用于快速、高質量地處理具有挑戰(zhàn)性的樣品,如非導電、空氣敏感和電子離子束敏感材料。
 

Helios 5 Laser PFIB 可配備能譜儀(EDS)和背散射電子衍射 (EBSD)探測器,可在毫米尺度上執(zhí)行 3D 元素和晶粒取向分析。結合顯微計算機斷層掃描(microCT)或透射電子顯微鏡(TEM)等其他技術,擴展了多尺度關聯分析工作流程的范圍,用于復雜材料的完整表征。



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