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常見故障現象及處理方法系列一:質譜無法正常開機

閱讀:6972      發(fā)布時間:2023-3-24
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常見故障現象及處理方法系列一:質譜無法正常開機

質譜長期未使用、異常關機后可能會出現無法正常開機情況,下面我們介紹一些質譜無法正常開機后的處理方法。

一、質譜開機步驟及易故障現象

1、檢查氣體壓力是否正常(參考下圖)。

img1 

若壓力異常,調節(jié)相應閥門使之達到正常壓力。

若出現無壓力或調節(jié)閥門無效情況,請及時聯系工程師檢修氮氣發(fā)生器或檢修氣路。

2、檢查機械泵油量,如需要,請及時更換泵油(請參考:機械泵維護指南。(超鏈接)

),打開機械泵。

若機械泵無法開機或出現異響,請及時聯系工程師檢修。

3、約30min后打開質譜主機電源,質譜指示燈點亮,并在常亮之后開始閃爍。

若指示燈無法點亮,檢查電源線是否松動。若無松動,請及時聯系工程師檢修質譜。

4、進入Analyst軟件,激活質譜并打開質譜狀態(tài)圖標,查看儀器狀態(tài)。

4.1以API 4000為例。

img2 

(1)、觀察Backing Pump Status,Enabled表示機械泵正常運轉。

若出現Disabled,請及時聯系工程師檢修機械泵。

(2)、觀察Analyzer Turbo Pump,由初始Accelerating約幾分鐘后變?yōu)?Normal。

若一直處于Accelerating或者OFF,請及時聯系工程師檢修質譜。

(3)、觀察Interface Turbo Pump,由初始Accelerating約幾分鐘后變?yōu)?Normal。

若一直處于Accelerating或者OFF,請及時聯系工程師檢修質譜。

(4)、觀察Vacuum Gauge,由初始OFF,在Analyzer Turbo Pump、Interface Turbo Pump均達到Normal后約兩分鐘后顯示真空度數。

若一直處于OFF,請及時聯系工程師檢修質譜。

注:質譜狀態(tài)及其含義,請參考邁斯培訓系列五:質譜報錯怎么辦?軟件死機了怎么辦?(超鏈接)

 

(5)抽真空過夜,觀察Vacuum Gauge,達到要求真空度,質譜圖標變?yōu)辄S色,開機正常。

若無法達到要求真空度或質譜圖標變紅,請及時聯系工程師檢修質譜。

4.2 以Triple Quad 5500為例。

img3 

(1)、觀察Backing Pump Status,Enabled表示機械泵正常運轉。

若出現Disabled,請及時聯系工程師檢修機械泵。

(2)、觀察Turbo Pump,由初始Accelerating約幾分鐘后變?yōu)?Normal。

若一直處于Accelerating或者OFF,請及時聯系工程師檢修質譜。

(3)、觀察Vacuum Gauge,由初始OFF狀,在Analyzer Turbo Pump、Interface Turbo Pump均達到Normal后約兩分鐘后顯示真空度數。

若一直處于OFF,請及時聯系工程師檢修質譜。

(4)抽真空過夜,觀察Vacuum Gauge,達到要求真空度,質譜圖標變?yōu)辄S色,開機正常。

若無法達到要求真空度或質譜圖標變紅,請及時聯系工程師檢修質譜。

注:待機狀態(tài)(CAD=0)真空范圍參考

質譜型號

2000

系列

3000

系列

3200

系列

4000

系列

4500

系列

5000

系列

5500

系列

真空范圍(10e-5 torr)

<2.0

 1.1

0.4~1.3

≤1.3

0.4~1.1

0.3~0.8

0.4~1.1

 

二、質譜異常關機故障排查

質譜在運行過程中突然關機。

1、檢查氣體壓力是否正常。若壓力異常,調節(jié)相應閥門使之達到正常壓力。

若出現無壓力或調節(jié)閥門無效情況,請及時聯系工程師檢修氮氣發(fā)生器或檢修氣路。

2、檢查機械泵是否正常運轉。

若機械泵無法運轉,請及時聯系工程師檢修機械泵。

3、觸摸分子泵外殼溫度是否正常。

若分子泵溫度異常高,請及時聯系工程師檢修質譜。

4、嘗試開機,觀察分子泵運轉時聲音是否正常。

若分子泵運轉時有異常噪音,請及時聯系工程師檢修質譜。

5、若無法正常開機,請查看event log并聯系工程師檢修質譜。

請參考邁斯翔禾培訓系列二:如何查看和保存 Event Log(超鏈接)

 

 

 

 

 

 

IMG_267 

IMG_268 

 

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