TESCAN VEGA COMPACT 是 TESCAN 第四 代掃描電鏡中的一員，是一款微型鴇燈絲掃描電子 顯微鏡，為滿足實(shí)驗(yàn)室基本分析需求，優(yōu)化了成像 和成分分析功能，簡(jiǎn)化了配置，是一款的 入門級(jí)高效分析型掃描電鏡。

       TESCAN VEGA COMPACT升級(jí)使用了全新 的Essence™專用電鏡軟件，在單個(gè)窗口中就可以 實(shí)現(xiàn)SEM成像和實(shí)時(shí)元素分析，更大程度簡(jiǎn)化了從 樣品上獲取形貌和元素?cái)?shù)據(jù)的過(guò)程，使得 VEGA COMPACT能夠更快速有效地完成大量樣品 的基礎(chǔ)檢測(cè)，使之成為經(jīng)濟(jì)高效的多功能分析工具。

       四透鏡設(shè)計(jì)

       Wide Field Optics™設(shè)計(jì)，可提供多種工作模 式和顯示模式；專有的中間鏡(IML),采用電磁 的方式改變物鏡光闌一一中間鏡的作用如同連續(xù)可 調(diào)的光闌，無(wú)需任何機(jī)械對(duì)中的鏡筒設(shè)計(jì)，使光路 合軸和校準(zhǔn)*自動(dòng)化；中間鏡帶來(lái)的實(shí)時(shí)電子束 追蹤技術(shù)(In-Flight Beam Tracing™),可模擬和 優(yōu)化電子束的束斑、束流；3D電子束技術(shù)(3D Beam Technology)可獲得實(shí)時(shí)立體成像。

 • SE 分辨率：3 nm @ 30 kV

 •  8 nm @ 3 kV

•  強(qiáng)大的低倍性能，為樣品的全景觀察和定位 提供了便利

•  新穎的EssenceTM操作軟件，操作者可以依 照喜好自定義界面，方便直觀

•  新穎的EssenceTM三維演示功能，保證了樣 品運(yùn)動(dòng)時(shí)樣品室內(nèi)探測(cè)器的安全

•  *集成的Essence™ EDS功能，可以快 速，輕松地從成像切換到元素分析操作

1. 樣品全貌的大視野圖像

2. 樣品局部圖像

3. SE高分辨圖像

4. BSE高分辨圖像