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气体流量控制器在半导体行业的应用

      发布时间:2023-03-30
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      在半导体行业,热式质量流量计控制器应用较为广泛,包括一些进口品牌,例如Horiba、MKS、Brooks等日美品牌。

      我司产品在实际应用中体现出稳定性好、精度准、零漂小、响应速度快等特点,并且考虑到在半导体相关设备的应用中对于颗粒和洁净的高要求,使产品所有与气体接触的表面均为金属,同时所有与气体接触的金属表面均进行了严格的表面处理,保证一定的洁净度要求。产品同时针对设备的通讯需求,可提供485Modbus,及DeviceNet等协议匹配上位机控制系统,同时带有模拟电压、模拟电流的信号输入和输出,客户可以根据自己的需要选择使用。

     同时也考虑了产品的抗干扰能力,使其可以抵抗较强的电磁干扰。

Devicenet压力控制器-2.jpg

DeviceNet协议流量控制器


485Modbus协议流量控制器


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