目錄:南京芯測軟件技術(shù)有限公司>>探針臺系統(tǒng)>>GP探針臺系列>> GCP-CRPS-5K閉循環(huán)低溫探針臺-
特點:
• 無需消耗制冷劑
• 全程無值守降溫
• 豐富的選件和配件
• 遠(yuǎn)程軟件控溫
• 芯測能實現(xiàn)很低溫度的閉循環(huán)制冷機(jī)探針臺
• 可定制最大4in的樣品臺(標(biāo)配2in)
規(guī)格:
◆ 樣品臺:鍍金樣品臺(三同軸、同軸、接地)
◆ 樣品臺尺寸:2英寸/4英寸
◆ 顯微鏡:最小分辨率2μm或4μm可選
◆ 探針臂:最多可安裝6個探針臂、X方向行程:50mm、移動分辨率3μm;Y、Z方向行程:25mm,移動分辨率5μm
◆ 探針配置:DC探針、射頻探針、光纖探針可選
◆ 真空系統(tǒng):機(jī)械泵或分子泵
◆ 真空度:5×10^-3Pa(室溫)、5×10^-5Pa(很低溫)
◆ 溫度范圍:4.5K-350K(兩個針臂)、5.5K-350K(四個針臂)、6K-350K(六個針臂)、20K-675K(高溫選件)
◆ 溫控精度:小于300K、±50mK、大于300K、±100mK
◆ 低振動選件:真空泵與腔體間機(jī)械物理隔振、壓縮機(jī)與冷頭之間機(jī)械物理隔振、桌面氣浮隔振、極限低振動小于1μm
結(jié)構(gòu):
(空格分隔,最多3個,單個標(biāo)簽最多10個字符)