由于激光平直度測(cè)量?jī)x基于激光-PSD原理，只有單光束發(fā)射到接收器上而沒有返回光，因此對(duì)激光束的滾動(dòng)角沒有要求。所以，接收器用磁性座吸在XZ1平面的導(dǎo)軌上，并確保接收器內(nèi)部的傾角傳感器角度顯示為60°±0.1°。激光發(fā)射器可以固定在任何可能的位置而無(wú)需考慮滾動(dòng)角的問題，只需要在測(cè)量前調(diào)整光路大致與被測(cè)軸平行即可。

技術(shù)參數(shù)

直線度

• 測(cè)量距離：40m

• 測(cè)量范圍：±5mm

• 系統(tǒng)精度：±(1μm + 1% A) ，其中 A 為最大顯示值（μm ）

平行度

• 測(cè)量范圍：±5mm

• 測(cè)量精度（使用棱鏡 ）：夾角為 ±(4 + 2/M + 0.01A/M)μm/m ；點(diǎn)間距為 ±(2 + 4M + 0.01A)μm ，A 為最大顯示值（μm ），M 為基準(zhǔn)面或基準(zhǔn)軸長(zhǎng)度（m ）

• 測(cè)量精度（不使用棱鏡 ）：夾角為 ±(2/M + 0.01A/M)μm/m ；點(diǎn)間距為 ±(1 + 0.01A)μm ，A、M 含義同上

垂直度

• 測(cè)量范圍：±5mm

• 測(cè)量精度：±(4 + 2/M + 0.01A/M)μm/m ，A 為最大顯示值（μm ），M 為基準(zhǔn)面或基準(zhǔn)軸長(zhǎng)度（m ）

平面度

• 測(cè)量精度：±(2 + 0.02A)μm ，A 為最大顯示值（μm ）