| 應用領域 |
醫(yī)療衛(wèi)生,化工,石油,地礦,能源 |
離子 |
聚焦 |
MI4050日立單束聚焦離子束系統(tǒng)是具有以下特征的高性能聚焦離子束系統(tǒng)：新型電子光學系統(tǒng)，可達到高水準的SIM像分辨率?大束流使加工速度得以提升?提高了低加速電壓的分辨率，使得高品質TEM樣品制備成為可能可用于截面加工觀察，高品質TEM樣品制備，電路修復，Vector Scan加工，微納米級微細圖形及磨具加工，利用沉積功能制作3維構造等眾多樣品加工應用。
日立單束聚焦離子束系統(tǒng)介紹：
探針電流可達90nA，實現快速加工和大面積加工
采用高精度5軸電動機械優(yōu)中心馬達臺
可在樣品臺移動（包括傾斜）時自動對多個部位進行多種加工
*的操作性能和多種多樣的加工模式
截面制備程序加工
TEM/STEM樣品程序加工
自動連續(xù)加工
TEM樣品自動連續(xù)精加工軟件
位圖加工
Vector Scan加工
制備納米精度三維結構樣品
使用多路氣體系統(tǒng)（MGS-II）修復電路
該系統(tǒng)可對應保護膜材料、配線材料、絕緣膜、加速蝕刻等多種用途，照射多種氣體
鎢沉積氣體
鉑沉積氣體
絕緣膜制備用沉積氣體
氟化氙蝕刻氣體
有機類蝕刻氣體
碳沉積氣體
豐富多樣的坐標鏈接功能
日立高新技術公司的坐標鏈接功能豐富多樣，可確定正確的加工位置和大幅縮短時間
光鏡圖像與SIM像的鏈接
日立單束聚焦離子束系統(tǒng)雙光標功能
與缺陷檢測設備建立坐標鏈接
已截斷的晶元或芯片也可與缺陷檢測設備建立坐標鏈接
CAD聯用導航軟件
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