7月17日,2025亚太国际半导体技术暨应用展览会在青岛国际博览中心盛大启幕。作为亚太地区半导体产业年度技术盛会,本次展会聚焦“创新驱动·生态共赢"主题,设立材料设备、制造工艺、封装测试、应用创新四大展区,吸引全球300余家顶尖企业参展,集中呈现半导体全产业链技术成果与解决方案。作为全球精密科学仪器专业供应商,皖仪科技携全新半导体行业监测/检测解决方案,精彩亮相大会。
硬核方案亮相,专业观众互动
深耕精密科学仪器研发制造22年,皖仪科技始终以技术创新为刃,致力于为半导体行业提供专业的监测/检测解决方案。展会期间,皖仪科技展台成为技术交流热点,通过实物演示及解决方案展示,吸引了大量芯片制造、封测企业及研究机构等专业人士驻足交流。展会期间,同步举行2025先进半导体技术与产业生态创新交流会,皖仪科技与大会深度合作,并展示AMC监测、一站式密封性检测、实验室分析仪器三大核心解决方案,凭借在半导体制造关键环节的创新应用,引发行业高度关注。
展会期间,多位行业专家莅临皖仪科技展位交流指导。其中,中国半导体行业协会执行秘书长王俊杰先生、中半协半导体支撑业分会秘书长石瑛女士深入展位,详细了解了皖仪科技半导体行业解决方案,并对皖仪在半导体领域的创新应用表达了高度认可。此外,日本半导体制造装置协会副事务局长佐藤富志夫先生也在创新交流会后与皖仪研发人员进行了深度交流。
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AMC监测解决方案
在半导体生产环境中,有害气体分子污染物(AMC)是威胁产品质量与生产安全的 “隐形杀手"。皖仪科技提供专业的AMC监测解决方案,实现对生产环境中亚纳米至纳米级AMC污染物的精准识别与实时监控,为洁净室环境提供严格保障,从源头守护制程稳定性与产品良率。
皖仪科技IC7000酸碱阴阳离子分析仪可以监测物质NO、CL、F-、SO2、NH*等阴阳离子,可用于监测刻蚀、清洗、湿法工艺等环节的污染。VM1750有机物分析仪是一款分析环境空气中多组分VOCS的高精度仪器,可以监测116种挥发性有机物,检出限≤0.1ppb,可用于监测光刻、清洗剂、外气等环节的污染。
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一站式密封性检测解决方案
针对半导体电子元器件/密封件检漏,皖仪科技提供一站式密封性解决方案,该方案由压氦罐、检漏罐、氦质谱检漏仪组成,支持真空喷氦法、吸枪法等多种检测方式。在大型半导体生产中,氦质谱检漏仪广泛应用于各种工艺,如刻蚀、 CVD、PVD、 真空炉、离子注入等。它能在工艺维护后迅速确认工艺完整性 和漏孔修复部位,确保次级生产中的真空管线和泵、气柜及复杂气体 输送管线以及生产设施和治理的安全高效。
SFJ-16D单泵氦质谱检漏仪,采用了自有的软件算法和经客户验证的真空系统设计,可满足严苛的泄露检测。SFJ-16F双泵氦质谱检漏仪,采用双分子泵组合技术,可在量程范围内快速响应,并在极短的时间内完成从达到开检条件到给出测试结果,设计的真空系统可以持续较高的氮气抽速和响应,满足客户需求。
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实验室分析仪器解决方案
在皖仪科技分析仪器产品可应用于半导体工艺流程中的多个环节。皖仪科技离子色谱仪可用于晶圆表面、湿电子化学品、光刻胶及配套试剂、电子特气、洁净空气、封测、蚀刻剂等离子态杂质分析。皖仪科技气相、液相色谱仪,气质、液质联用仪可用于晶圆表面有机污染物、湿电子化学品的有机污染物、光刻胶有机物分析/配方剖析、电镀液添加剂分析、电子电器中有害有机物、超纯水有机杂质等有机污染物/有机成分分析。
赋能制造升级,共话行业未来
当前,半导体产业向更高制程、更优性能迈进,却面临技术突破瓶颈与生态协同难题。皖仪科技深度融入产业生态,以专业监测/检测解决方案,助力攻克“卡脖子" 技术难题。从守护生产环境,到保障产品质量,从支撑研发创新,到促进产业链协同,皖仪用技术力量,为半导体产业迭代升级添砖加瓦。未来,皖仪科技持续深耕,以更多硬核方案,为半导体产业高质量发展注入 “芯" 动能,携手共创全球半导体产业更璀璨的未来!
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