应用领域 | 化工,建材/家具 |
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刀头带独立加热机构无任何飞边,并省去修边
手动直切刀设计;
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参考价 | 面议 |
更新时间:2022-10-12 13:51:18浏览次数:738
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晶圆贴膜机产品特点
体积小,操作方便,适用于桌面放置以及满足上述规格的晶圆。
晶圆减薄前贴膜性能:晶圆收益≥99.9%
贴膜质量:没有气泡(不包括灰尘颗粒气泡)
每小时产能:≥ 80片晶圆
更换产品时间:5min
晶圆贴膜机规格参数
晶圆尺寸(英寸): 4" 、 5" 、 6" 、 8" 、 12"
晶圆厚度: 300 - 750μm
晶圆种类:
晶圆材料:硅,砷化镓或其他
晶圆工艺:单平边,双平边,V型缺口
胶膜种类
胶膜材料:蓝膜或UV膜
胶膜规格: 长度--100m;
宽度--120 ~ 240mm;
厚度--0.05 ~ 0.2mm;
贴膜原理:防静电滚轮贴膜
贴膜动作:自动拉膜和贴膜
晶圆台盘:通用(一体式)特氟龙防静电涂层接触式台盘或硅胶台盘或陶瓷台盘
晶圆装载方式:手动放置与取出。
防静电控制:防静电特氟龙涂层晶圆台盘/防静电贴膜滚轮/除静电离子发生器
切割系统
手动可调整环形切刀适用于不同的晶圆外形
刀头带独立加热机构无任何飞边,并省去修边
手动直切刀设计,
晶圆定位:通用标线/弹簧销钉
安全防护:配置紧急?;磁?/span>
电源:AC 220V 10A