目录:纳特斯（苏州）科技有限公司>>纳米定位台>>高负载平台>> HF-5-20高负载平台
| 产地类别 | 国产 | 应用领域 | 生物产业,能源,电子/电池,航空航天,电气 |
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HF-5-20高负载平台的行程为20mm，重量为275g。
| 概观 | |
|---|---|
| 自由度 | 1 |
| 行程[mm] | 20 |
| 最大升力[N] | 5 |
| 初始尺寸[mm] | 80 x 25 x 61 |
| 重量[g] | 275 |
| 定位性能 | |
| 开环最大速度[mm/s] | 2 |
| 开环定位分辨率[nm] | <1 |
| 闭环定位分辨率[nm] | 2 |
| 闭环重定位精度[nm] | ±60 |
| 选配 | |
| 材质 | 标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK） |
| 真空兼容 (HV) | 1E-6 mbar |
| 高真空兼容 (UHV) | 1E-10 mbar |
| 无磁 | 可根据要求定制 |
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