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| 功能 | 电性测量、纳米操纵 |
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SEM纳米探针台
产品介绍
三轴探针台由三个单轴运动台组合而成。一个SEM腔体内可安装多个三轴探针台。平台上可安装电学探针、光纤探针、纳米镊子、金刚石纳米力压头、显微注射器等各类操纵和测量头，实现微纳操纵和测量的目的。
标准配置包含：探针主体、适配SEM/FIB的底座、过真空法兰、探针控制器及控制手柄
选配：低温、高温样品台、光纤夹头和光纤真空馈通、EBIC套件
产品特点
▲ 结构紧凑，高刚性
▲ 零间隙，高精度柔性铰链导向系统
▲ 压电陶瓷位移平台具有超长使用寿命
▲ 内部根据需求可增加位置反馈
▲ 应用：纳米材料操纵、纳米器件电学光电等物性测量、生物细胞DNA操作等
▲ 适配SEM：日本电子、 日立、FEI、 TESCAN等
应用领域
规格参数
样品台面平面度：10μm
探针台总重量：225g
三轴XYZ行程：±10mm
最大运动速度：3mm/s
细调分辨率：0.5nm
案例应用
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