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目录:沈阳科晶自动化设备有限公司>>清洗设备>>等离子清洗>> PCE-8等离子清洗机

等离子清洗机
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参考价 面议
具体成交价以合同协议为准
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  • 品牌 其他品牌
  • 型号 PCE-8
  • 厂商性质 生产商
  • 所在地 沈阳市
属性

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更新时间:2022-09-09 14:31:05浏览次数:4118评价

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产地类别 国产 价格区间 5万-10万
应用领域 综合
PCE-8等离子清洗机是一款较大型的清洗机,等离子腔体为 Φ8.5 “×12“的石英腔体,采用的射频电源功率0 - 100W连续可调节。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等),对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。

  PCE-8等离子清洗机是一款较大型的清洗机,等离子腔体为 ?8.5"×12"的石英腔体,采用的射频电源功率0- 100W连续可调节,采用的射频为13.56MHz。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等),对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。在单晶材料外延薄膜生长以前对其进行预处理,将对生长具有显著的作用。配有一个直连式双旋真空泵,可对腔体进行抽真空,同时通入氩气等?;て?适用于对易氧化的物品的清洗。采用6″彩色触摸屏,可控制射频功率、清洗时间、气体流量、真空泵的开启等。内部配有0-500mm/min的质量流量计,可以精确地控制进气流量。

产品型号

 PCE-8等离子清洗机

主要特点

 16″彩色触摸屏,可控制射频功率、清洗时间、气体流量、真空泵的开启等。

 2、部配有0-500mm/min的质量流量计,可以精确地控制进气流量。

技术参数

 1、电源:AC220V

 2、射频功率:zui大100W,可在0-100W间调节

 3、真空泵功率:<500W

 4、总功率:<600W

 5、射频:13.56MHz

 6、等离子腔体:高纯石英腔体,外径 Φ8.5 ",内径 Φ8.2 ",长12",采用铝制折叠式法兰进行真空密

                               封,法兰设有一个Φ60mm的观察窗口

 7、极限真空度:50mtorr

 8、通入气体:可通入多种气体,如N2Ar、Air、H2、O2和混合气体等等(根据材料性质所定)

清洗及蚀刻

产品规格

 尺寸:620mm×450mm×600mm

标准配件

 1、直连式双旋真空泵(240L/min)

 2KF25波纹管

 3、KF25手动挡板阀

可选配件

 1、300W、600W射频电源(进行等离子刻蚀和等离子灰化等实验)

 2、2-6″石英舟(盛放基片)

 3、2-4通道浮子混气系统

 4、2-4通道质子混气系统

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