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产品型号

  双管滑动快速加热冷却炉OTF-1200X-4-C4LVS

主要特点

  1、采用高纯Al₂O₃保温材料，保证了炉膛有*的温度均匀性，内炉膛表面涂有进口高温氧化铝涂层，可以　

        提高设备的加热效率及延长仪器的使用寿命。

  2、设有双石英管，金属箔缠绕在内管的外表面上，以发生CVD反应。

  3、双管的真空密封法兰允许反应气体通过两管之间（10mm间隙）发生反应，冷却气体直接通入内管。

  4、配有四通道质量流量计控制4路气体，及采用KF25快接和波纹管连接的高速机械泵。

  5、底部设有滑轨，炉子可以从一端滑向另一端，从而实现快速升温和降温。

  6、样品所在的位置每路气路都有一个独立的不锈钢针阀控制。

技术参数

  1、电源：单相208-240V AC  50/60Hz  2.5KW（20A保险丝）

  2、石英管：外管外径Φ100mm，内径Φ96mm，长1400mm

                        内管外径Φ80mm，内径Φ75mm，长1400mm

  3、加热区：440mm

  4、恒温区：120mm（双温区炉可获得240mm）

  5、工作温度：zui高温度1100℃，连续温度1000℃

  6、控温精度：±1℃

  7、升降温速度：在使用前需要校正工作温度、加热效率、冷却效率

  8、真空度：10^-3torr（机械泵），10^-5torr（分子泵）

  9、真空法兰：SS304不锈钢，配有两个高温O型圈密封

  10、流量计：4路精密质子流量计，气体流量自动控制（数字显示）

                          MFC1范围0-100sccm    MFC2范围0-200sccm

                          MFC3范围0-200sccm    MFC4范围0-500sccm

  11、流量精度：0.2%

  12、进出气口：1/4″卡套

产品规格

  尺寸：550mm×380mm×520mm；重量：138kg

可选配件

  1、铜箔（150m×150mm×25µm，生长石墨烯用）

  2、防腐型数字真空计