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工業(yè)檢測儀器中特殊氣體的量程應(yīng)如何辨別設(shè)置

閱讀:186      發(fā)布時間:2025-4-8
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在工業(yè)、實驗室或特殊環(huán)境中,針對不常見氣體(如硅烷、磷化氫、六氟化硫等)的量程設(shè)置需要綜合考慮氣體的理化性質(zhì)、毒性、爆炸風險、檢測目等

在設(shè)置量程前,需明確檢測目的

1.安全監(jiān)測(防爆/防毒) → 關(guān)注爆炸下限(LEL)或職業(yè)接觸限值(OEL)。

2.過程控制(工業(yè)制程) → 關(guān)注工藝允許濃度范圍。

3.環(huán)境監(jiān)測(排放控制) → 關(guān)注環(huán)保法規(guī)限值。

4.實驗室分析(高精度) → 關(guān)注檢出限(LOD)和定量限(LOQ)。
舉例子:具體的還要結(jié)合不同的工況去制定合適的量程

硅烷(SiH?)

0-20 ppm(安全)
磷化氫(PH?)

0-10 ppm(毒性)
六氟化硫(SF?)

0-1000 ppm(泄漏)



砷化氫(AsH?)0-1ppm(高毒)
確定量程范圍
(1)爆炸性氣體(LEL檢測)

適用氣體:可燃氣體(如硅烷、氫氣等)。

量程設(shè)置:

0-100% LEL(常規(guī)安全監(jiān)測)。

0-10% LEL(高靈敏度預(yù)警)。

超過100% LEL(需稀釋或使用NDIR/熱導(dǎo)檢測)。

(2)劇毒氣體(ppm/ppb級檢測)

適用氣體:高毒性氣體(如砷化氫、光氣、氟氣等)。

量程設(shè)置:
砷化氫(AsH?)的TWA=0.05 ppm,量程設(shè)為0-1 ppm。

職業(yè)健康標準(OEL):如TWA(8小時均值)、STEL(短時暴露限值)。

惰性/特殊氣體(體積濃度或高純度檢測)
適用氣體:六氟化硫(SF?)、氦氣(He)、氬氣(Ar)等。

    量程設(shè)置:泄漏檢測:0-1000 ppm(如SF?檢漏)

    校準與驗證

    • 標準氣體:必須使用已知濃度的特氣標準氣校準(如5 ppm PH?平衡氮氣)。

    • 零點校準:在純凈空氣或高純氮氣環(huán)境下進行。

    特殊案例

    (1)硅烷(SiH?)

    • 爆炸風險:LEL=1.5%,自燃溫度<54℃。

    • 量程建議:

      • 安全監(jiān)測:0-2% vol。

      • 微量泄漏:0-50 ppm(電化學或NDIR)。

    (2)磷化氫(PH?)

    • 劇毒:TWA=0.3 ppm,IDLH=50 ppm。

    • 量程建議:

      • 常規(guī)監(jiān)測:0-10 ppm(電化學)。

      • 高濃度預(yù)警:0-100 ppm(PID或NDIR)。

    (3)六氟化硫(SF?)

    • 溫室氣體:需檢測微量泄漏。

    • 量程建議:

      • 檢漏模式:0-100 ppm(NDIR)。
        總結(jié):需具體情況具體分析,結(jié)合各氣體的氣體性質(zhì),尋求合適的傳感器來設(shè)
        計量程范圍

    工業(yè)檢測儀器中特殊氣體的量程應(yīng)如何辨別設(shè)置

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