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表面光電壓法的基本原理?12

表面光電壓法（Surface Photovoltage Method，簡(jiǎn)稱SPV法）是通過測(cè)量由于光照在半導(dǎo)體材料表面產(chǎn)生的表面電壓來(lái)獲得少數(shù)載流子擴(kuò)散長(zhǎng)度的方法。其原理是：用能量大于半導(dǎo)體材料禁帶寬度的單色光照射在半導(dǎo)體材料表面，在其內(nèi)部產(chǎn)生電子-空穴對(duì)，受濃度梯度驅(qū)動(dòng)擴(kuò)散至半導(dǎo)體材料近表面空間電荷區(qū)的電子和空穴將被自建電場(chǎng)分離，形成光生電壓，即表面光電壓

表面光電壓法的應(yīng)用和優(yōu)勢(shì)

SPV法是表征半導(dǎo)體材料少子擴(kuò)散長(zhǎng)度的主要方法，具有以下優(yōu)點(diǎn)：

• 是一種穩(wěn)態(tài)方法，與時(shí)間無(wú)關(guān)，避免了體內(nèi)和表面復(fù)合對(duì)測(cè)試結(jié)果的影響。

• 一般情況下，表面復(fù)合過程不影響少子擴(kuò)散長(zhǎng)度的測(cè)試結(jié)果，表面復(fù)合速率只對(duì)表面光電壓信號(hào)強(qiáng)度產(chǎn)生影響，因此無(wú)須特殊處理材料的表面。

• 是一種無(wú)接觸的測(cè)試方法，測(cè)試成本低、易于操作、不容易受到干擾，并且可以實(shí)施面掃描（mapping）。